[특허]정전척 및 정전척의 용도

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정전척 및 정전척의 용도 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/683 H02N-015/00
출원번호	10-2019-0005172 (2019-01-15)
공개번호	10-2020-0088639 (2020-07-23)
등록번호	10-2522181-0000 (2023-04-11)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020190005172
발명자 / 주소	문인주 / 대전광역시 유성구 문지로 * LG화학기술연구원 이범진 / 대전광역시 유성구 문지로 * LG화학기술연구원 이효진 / 대전광역시 유성구 문지로 * LG화학기술연구원 김남규 / 대전광역시 유성구 문지로 * LG화학기술연구원
출원인 / 주소	주식회사 엘지화학 / 서울특별시 영등포구 여의대로 *** (여의도동)
대리인 / 주소	특허법인다나
심사청구여부	있음 (2021-03-22)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 정전척 및 정전척의 용도에 관한 것이다. 본 출원에서는 전극 패턴의 조정과 미세 홀의 적용 등을 통해 처킹 및 디처킹 공정성이 개선된 정전척을 제공하며, 상기 정전척을 이용함으로써, 제품 품질 및 생산성이 향상된 광학 디바이스의 제조 방법을 제공한다.

대표청구항 ▼

제 1 정전척에 정전기력에 의하여 제 1 전극 필름을 고정하고, 제 2 정전척에 정전기력에 의하여 제 2 전극 필름을 고정하는 처킹 단계 및 상기 제 1 정전척으로부터 상기 제 1 전극 필름을 분리하고, 상기 제 2 정전척으로부터 상기 제 2 전극 필름을 분리하는 디처킹 단계를 포함하며, 상기 처킹 단계와 상기 디처킹 단계의 사이에 수행되는 제 1 전극 필름과 제 2 전극 필름 사이에 광학 기능성층을 형성하는 단계 및 제 1 전극 필름과 제 2 전극 필름을 합착하는 단계를 더 포함하고,상기 제 1 정전척과 제 2 정전척은 각각 스테이지, 상기 스테이지 상에 배치된 패턴 전극층 및 상기 패턴 전극층 상에 배치된 유전체층을 포함하고, 상기 패턴 전극층은 서로 이격되어 배치된 복수의 전극 도메인을 포함하며, 상기 전극 도메인 하나의 면적은 10,000 mm2 이하이고, 상기 제 1 정전척과 제 2 정전척은 각각 상기 스테이지, 패턴 전극층 및 유전체층을 관통하고, 내부가 비어 있는 미세 홀을 포함하고, 상기 디처킹 단계는 제 1 정전척과 제 2 정전척의 미세 홀을 통해 공기 분사(air blowing)를 실시하여 수행되는 광학 디바이스의 제조 방법.

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[일본] ELECTROSTATIC CHUCKING DEVICE | SUZUKI DAICHI, MASE ERIKO, MAEHIRA KEN
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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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