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NTIS 바로가기주관연구기관 | 코리아세미텍(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-01 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500014786 |
과제고유번호 | 1425085686 |
사업명 | 민관공동투자기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-09-26 |
키워드 | Dry Etcher.Heated ESC.Multi-Zone.High temp.. |
□ 개발목표
계 획:
High Temp. 공정용 일체형 타입의 Multi-zone Heated ESC 개발
실 적:
High Temp. 공정용 일체형 타입의 Multi-zone Heated ESC 상용품 제작 완료
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. Temp. Uniformity (wafer 전체@60℃)
계획 : <±2@60℃
실적 : 3.3
2. Temp. Uniformity (Each Zone)
계획 : <±2@120℃
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