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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0018625 (2019-02-18) | |
공개번호 | 10-2019-0018668 (2019-02-25) | |
등록번호 | 10-2019962-0000 (2019-09-03) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020170020086 (2017-02-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190018625 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-02-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명에 따른 마스크 세정액 조성물은 화학식 1로 표시되는 아미드계 화합물을 포함하는 것을 특징으로 한다.
하기 화학식 1로 표시되는 아미드계 화합물; 및 글리콜에테르계 화합물을 포함하는 마스크 세정액 조성물로서,상기 세정액 조성물 전체 100 중량부에 대하여, 상기 아미드계 화합물을 50중량부 이상 100 중량부 미만, 그리고 물을 0 중량부 이상 2 중량부 미만으로 포함하는 마스크 세정액 조성물:[화학식 1]상기 화학식 1에서,R1 및 R2는 각각 독립적으로 메틸기 또는 에틸기이고,R3는 수소; 또는 C1 내지 C4의 알콕시기로 치환 또는 비치환된 C1 내지 C4의 포화 또는 불포화 탄화수소기;이며,단, R1 및 R2가 메틸기인 경우
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