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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0170539 (2017-12-12) |
공개번호 | 10-2018-0109650 (2018-10-08) |
등록번호 | 10-2469931-0000 (2022-11-18) |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020170039245 (2017-03-28) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170170539 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-06-22) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 하이드록실기를 포함하는 알칼리 화합물; 암모늄염 화합물; 유기산; 과산화수소; 및 물을 포함하는 마스크 세정액 조성물, 마스크 세정액 예비-조성물, 및 마스크 세정액 조성물의 제조방법을 제공한다. 상기 조성물은 마스크를 손상시키지 않으면서, 마스크 상에 증착된 금속을 산화 및 용해과정에 의해 신속하게 제거하는 효과를 제공한다.
하이드록실기를 포함하는 알칼리 화합물; 암모늄염 화합물; 유기산; 과산화수소; 및 물을 포함하고,상기 암모늄염 화합물은 아세트산암모늄, 질산암모늄, 인산암모늄, 제1인산암모늄, 제2인산암모늄, 황산암모늄 및 과황산암모늄으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 것이며,상기 하이드록실기를 포함하는 알칼리 화합물은 수산화 암모늄 및 암모니아를 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 마스크 세정액 조성물.
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