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[한국특허] 마스크 세정액 조성물, 마스크 세정액 예비-조성물, 및 마스크 세정액 조성물의 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C11D-007/06
  • C11D-011/00
  • C11D-007/26
  • C11D-007/32
  • C23C-014/04
  • C23C-016/04
출원번호 10-2017-0170539 (2017-12-12)
공개번호 10-2018-0109650 (2018-10-08)
등록번호 10-2469931-0000 (2022-11-18)
우선권정보 대한민국(KR) 1020170039245 (2017-03-28)
DOI http://doi.org/10.8080/1020170170539
발명자 / 주소
  • 김성식 / 전라북도 전주시 완산구 서곡로 **-*, ***호
  • 김정현 / 전라북도 익산시 서동로 ***, 동우화인켐사원아파트 ***호
  • 조한혁 / 경기도 의정부시 신촌로**번길 **, *층
  • 고경준 / 전라북도 익산시 고봉로**길 **, ***동 ****호
출원인 / 주소
  • 동우 화인켐 주식회사 / 전라북도 익산시 약촌로 *** (신흥동)
대리인 / 주소
  • (유)한양특허법인
심사청구여부 있음 (2020-06-22)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 하이드록실기를 포함하는 알칼리 화합물; 암모늄염 화합물; 유기산; 과산화수소; 및 물을 포함하는 마스크 세정액 조성물, 마스크 세정액 예비-조성물, 및 마스크 세정액 조성물의 제조방법을 제공한다. 상기 조성물은 마스크를 손상시키지 않으면서, 마스크 상에 증착된 금속을 산화 및 용해과정에 의해 신속하게 제거하는 효과를 제공한다.

대표청구항

하이드록실기를 포함하는 알칼리 화합물; 암모늄염 화합물; 유기산; 과산화수소; 및 물을 포함하고,상기 암모늄염 화합물은 아세트산암모늄, 질산암모늄, 인산암모늄, 제1인산암모늄, 제2인산암모늄, 황산암모늄 및 과황산암모늄으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 것이며,상기 하이드록실기를 포함하는 알칼리 화합물은 수산화 암모늄 및 암모니아를 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 마스크 세정액 조성물.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [한국] 다제형 반도체 기판용 세정 키트, 그것을 사용한 세정 방법 및 반도체 소자의 제조 방법 | 카미무라 테츠야
  2. [한국] 은 또는 마그네슘용 식각용액 조성물 | 김도균, 유동완, 한태희, 지정훈, 김성희
  3. [일본] CLEANING FLUID FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND CLEANING METHOD | SEKI HIROYUKI, NUKUI KATSUYUKI, INABA TADASHI, FUSHIMI HIDEO
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