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연합인증

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코안다 진공노즐 및 팩킹링을 구비한 진공척의 진공패드 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/683
  • G03F-007/20
출원번호 10-2019-0022363 (2019-02-26)
공개번호 10-2020-0104452 (2020-09-04)
등록번호 10-2206976-0000 (2021-01-19)
DOI http://doi.org/10.8080/1020190022363
발명자 / 주소
  • 채창완 / 대구광역시 수성구 달구벌대로***길 ** ***동 ****호 (사월동,시지동화아이위시)
  • 이응석 / 충청북도 청주시 청원군 북이면 서당대길길 **-**
  • 박상록 / 경상북도 경산시 경안로**길 **, ***동 ***호(중방동, 중방e편한세상*단지)
출원인 / 주소
  • 채창완 / 대구광역시 수성구 달구벌대로***길 ** ***동 ****호 (사월동,시지동화아이위시)
대리인 / 주소
  • 이순국
심사청구여부 있음 (2019-02-26)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 코안다 진공노즐 및 팩킹링을 구비한 진공척 진공패드에 관한 것으로 보다 상세하게는 얇은 판 형태의 가공물의 평면가공시 상기 얇은 판 형태의 가공물을 진공척의 진공패드에 흡착 고정함에 있어 큰 진공압력 없이도 높은 진공도로 진공흡착할 수 있으며, 불균일한 진공흡착으로 인한 상기 얇은 판 형태의 가공물의 휨 발생에 따른 평탄도 저하를 방지하기 위한 코안다 진공노즐 및 팩킹링을 구비한 진공척 진공패드에 관한 것이다.

대표청구항

다수의 진공흡인홀이 형성된 상부플레이트와 상기 상부플레이트 하부에 일정 간극의 진공발생 공간을 형성하며 결합 고정되는 하부플레이트를 포함하여 구성되는 진공패드에 있어서, 상기 하부플레이트는 상부 주변부에 상기 하부플레이트의 외곽방향으로 코안다 제트가 형성되도록 코안다 커브 및 상기 코안다 커브 내측으로 간극을 두고 배치되도록 하나의 코안다 코어로 구성되는 코안다 진공노즐 및 상기 하부플레이트 내부에 상기 코안다 진공노즐에 공기를 분사하는 공기유로를 형성하여 상기 코안다 진공노즐에 코안다 제트가 형성됨에 따라 상기 하부플레이트 상부

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 예각 비접촉 진공패드 | 이기선, 장영배
  2. [한국] 진공척 | 지기환, 임현철
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