[특허]기판 프로세싱을 위한 질량 유량 제어기

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/67 H01L-021/02
출원번호	10-2019-0025586 (2019-03-06)
공개번호	10-2019-0106747 (2019-09-18)
우선권정보	미국(US) 15/917,528 (2018-03-09)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020190025586
발명자 / 주소	고팔라크리슈넌, 슈다카르 / 미국, *** 캘리포니아, 프레몬트, 쿠싱 파크웨이 라이머, 피터 / 미국, * 캘리포니아, 프레몬트, 쿠싱 파크웨이 하루프, 존 / 미국, * 캘리포니아, 프레몬트, 쿠싱 파크웨이 스미스, 데니스 / 미국, * 캘리포니아, 프레몬트, 쿠싱 파크웨이 **
출원인 / 주소	램 리써치 코포레이션 / 미국 *** 캘리포니아주 프레몬트 쿠싱 파크웨이 **
대리인 / 주소	특허법인인벤싱크
법적상태	공개

초록 ▼

프로세싱 챔버로 프로세스 가스를 전달하기 위한 방법들 및 장치들이 제공된다.질량 유량 제어기 (mass flow controller) 는 프로세스 유체를 도입하기 위한 제 1 플로우 라인 및 프로세스 유체의 플로우 레이트 (flow rate) 를 제어하기 위해 제 1 플로우 라인을 따라 배치된 유입구 밸브를 포함한다.질량 유량 제어기는 질량 유량 제어기 내로 캐리어 유체를 도입하기 위한 제 2 플로우 라인 및 프로세스 유체와 캐리어 유체의 혼합물에 대한 밀도 신호 및 질량 플로우 레이트 신호를 제공하기 위한 MEMS (micro-electro-mechanical system) Coriolis 센서를 포함한다.제공된 질량 유량 제어기는 질량 유량 제어기에 의해 출력된 혼합물의 질량 플로우 레이트를 제어하기 위한 유출구 밸브뿐만 아니라 밀도 신호에 기초하여 유입구 밸브를 동작시키고 질량 플로우 레이트 신호에 기초하여 유출구 밸브를 동작시키기 위한 제어기를 포함한다.

대표청구항 ▼

프로세스 유체를 질량 유량 제어기 (mass flow controller) 내로 도입하기 위한 제 1 플로우 라인;프로세스 유체의 플로우 레이트 (flow rate) 를 제어하기 위해 제 1 플로우 라인을 따라 배치된 유입구 밸브;상기 질량 유량 제어기 내로 캐리어 유체를 도입하기 위한 제 2 플로우 라인;상기 프로세스 유체와 상기 캐리어 유체의 혼합물에 대한 밀도 신호 및 질량 플로우 레이트 신호를 제공하기 위한 MEMS (micro-electro-mechanical system) Coriolis 센서; 상기 질량 유량 제어기에 의해 출력된 상기 혼합물의 질량 플로우 레이트를 제어하기 위한 유출구 밸브; 및 상기 밀도 신호에 기초하여 상기 유입구 밸브를 동작시키고 상기 질량 플로우 레이트 신호에 기초하여 상기 유출구 밸브를 동작시키기 위한 제어기를 포함하는, 질량 유량 제어기.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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