[특허]유기금속화합물 및 이를 이용한 박막

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C07F-009/00 C23C-016/34 C23C-016/455 H01L-021/02
출원번호	10-2019-0026841 (2019-03-08)
공개번호	10-2019-0096297 (2019-08-19)
등록번호	10-2015283-0000 (2019-08-22)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020190026841
발명자 / 주소	하승원 / 대전광역시 서구 청사로 , 동 호(월평동, 황실타운) 변영훈 / 경기도 오산시 유엔평화로 , 층 (외삼미동) 배우리 / 경기도 용인시 처인구 양지면 중부대로*번길 김점종 / 충청남도 아산시 탕정면 탕정면로 , 동 *호(탕정삼성트라팰리스아파트) 김호훈 / 충청북도 음성군 원남면 원남산단로 (상당리 **)
출원인 / 주소	주식회사 메카로 / 경기도 평택시 산단로 *- (모곡동)
대리인 / 주소	특허법인이룸리온
심사청구여부	있음 (2019-03-08)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명의 유기금속화합물 및 이를 이용한 박막은 높은 휘발성, 우수한 화학적·열적 안정성을 만족함과 동시에 낮은 온도에서도 현저히 향상된 박막 증착 속도를 가진다. 또한, 부산물에 의한 특성 저하가 개선되고, 단차 피복성이 우수하며, 고 유전율을 가져 전기적으로는 등가 산화막 두께(EOT)를 가지면서 물리적으로는 터널링이 일어나지 않는 두께의 박막을 구현할 수 있다.

대표청구항 ▼

하기 화학식 2의 구조를 갖는 유기금속화합물;[화학식 2]상기 화학식 2에서, M은 V, Nb 또는 Ta이고,Xa는 O, N, P 또는 P=O이며Xb는 O 또는 N이고Xc는 O, N, P 또는 As이며,R1은 C1-6의 알킬기이며, R2는 C1-6의 알킬기 또는 이고, R3은 C1-6의 알킬기, CH2OCH3 또는 -CH2OCH3이며, R4는 수소 또는 C1-6의 알킬기이고, 상기 R1, R2, R3 및 R4는 Xa, Xb 및 Xc 의 원자가에 따라존재하거나 존재하지 않으며, Xa, Xb 및 Xc가 모두 N일때에는 R1, 및 R4가

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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