IPC분류정보
국가/구분 |
한국(KR)/등록특허
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 |
10-2019-0038660
(2019-04-02)
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공개번호 |
10-2019-0116089
(2019-10-14)
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등록번호 |
10-2690146-0000
(2024-07-26)
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우선권정보 |
일본(JP) JP-P-2018-071854 (2018-04-03) |
DOI |
http://doi.org/10.8080/1020190038660
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발명자
/ 주소 |
- 미츠모리 아키요시
/ 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 * 도쿄엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
- 야마구치 신
/ 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 * 도쿄엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
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출원인 / 주소 |
- 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 / 일본 도쿄도 미나토쿠 아카사카 *쵸메 *반 *고
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 |
있음 (2021-12-28) |
심사진행상태 |
등록결정(일반) |
법적상태 |
등록 |
초록
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일 실시형태에 관한 온도 조절 시스템은 재치대의 온도를 조절한다. 이 온도 조절 시스템의 제어부는, 재치대의 온도를 승온시키는 경우에, 재치대로 입열함과 함께, 분류 밸브를 개방으로 하면서 재치대의 온도가 제1 온도보다 높은 제2 온도에 이르도록 분류 밸브의 개도를 조절한다. 열 교환부는 재치대 내에 마련되어 냉매에 의한 열 교환을 행하고, 압축기는 열 교환부로부터 배출된 냉매를 압축하며, 응축기는 압축기에 의하여 압축된 냉매를 응축하고, 공급 라인은 응축기의 출력단과 열 교환부의 입력단의 사이에 마련되어 냉매를 열 교환부로 보내며
일 실시형태에 관한 온도 조절 시스템은 재치대의 온도를 조절한다. 이 온도 조절 시스템의 제어부는, 재치대의 온도를 승온시키는 경우에, 재치대로 입열함과 함께, 분류 밸브를 개방으로 하면서 재치대의 온도가 제1 온도보다 높은 제2 온도에 이르도록 분류 밸브의 개도를 조절한다. 열 교환부는 재치대 내에 마련되어 냉매에 의한 열 교환을 행하고, 압축기는 열 교환부로부터 배출된 냉매를 압축하며, 응축기는 압축기에 의하여 압축된 냉매를 응축하고, 공급 라인은 응축기의 출력단과 열 교환부의 입력단의 사이에 마련되어 냉매를 열 교환부로 보내며, 팽창 밸브는 공급 라인에 마련되고, 기체 라인은 압축기의 출력단과 팽창 밸브의 출력단의 사이에 마련되며, 분류 밸브는 기체 라인에 마련되고, 검출 장치는 재치대의 온도를 검출하며, 제어부는 검출 장치에 의하여 검출된 온도에 근거하여 재치대로의 입열과 팽창 밸브 및 분류 밸브 각각의 개도를 조절한다.
대표청구항
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피처리체가 재치되는 재치대의 온도를 조절하는 온도 조절 시스템으로서,상기 재치대 내에 마련되고, 상기 재치대의 재치면을 통하여 냉매에 의한 열 교환을 행하는 열 교환부와,압축기, 응축기, 팽창 밸브, 기체 라인, 및 분류 밸브를 포함하는 칠러 유닛과,상기 응축기의 출력단과 상기 열 교환부의 입력단의 사이에 마련되어 상기 냉매를 상기 열 교환부로 보내는 공급 라인과,상기 열 교환부 및 상기 칠러 유닛의 사이에 마련된 배출 라인과,상기 재치대의 온도를 검출하는 검출 장치와,상기 검출 장치에 의하여 검출된 상기 재치대의 온도에 근거하여,
피처리체가 재치되는 재치대의 온도를 조절하는 온도 조절 시스템으로서,상기 재치대 내에 마련되고, 상기 재치대의 재치면을 통하여 냉매에 의한 열 교환을 행하는 열 교환부와,압축기, 응축기, 팽창 밸브, 기체 라인, 및 분류 밸브를 포함하는 칠러 유닛과,상기 응축기의 출력단과 상기 열 교환부의 입력단의 사이에 마련되어 상기 냉매를 상기 열 교환부로 보내는 공급 라인과,상기 열 교환부 및 상기 칠러 유닛의 사이에 마련된 배출 라인과,상기 재치대의 온도를 검출하는 검출 장치와,상기 검출 장치에 의하여 검출된 상기 재치대의 온도에 근거하여, 상기 재치대로의 입열과, 상기 팽창 밸브 및 상기 분류 밸브 각각의 개도를 조절하는 제어부를 구비하고,상기 압축기는, 상기 열 교환부로부터 배출된 상기 냉매를 압축하도록 구성되고,상기 응축기는, 상기 압축기에 의해서 압축된 상기 냉매를 응축하도록 구성되고,상기 팽창 밸브는, 상기 공급 라인에 마련되고,상기 기체 라인은, 상기 응축기의 출력단과 상기 팽창 밸브의 출력단의 사이에 마련되고,상기 분류 밸브는, 상기 기체 라인에 마련되고,상기 열 교환부는, 증발실, 저류실, 및 복수의 관을 포함하고,상기 관은, 분사구를 포함하고,상기 저류실은, 상기 공급 라인을 통하여 상기 칠러 유닛에 접속되고, 복수의 상기 관을 통하여 상기 증발실에 연통되며, 상기 공급 라인을 통하여 상기 칠러 유닛으로부터 공급되는 냉매를 저류하고, 상기 증발실은, 상기 배출 라인을 통하여 상기 칠러 유닛에 접속되고, 상기 재치대의 상기 재치면에 걸쳐 뻗어 있으며, 복수의 상기 분사구를 포함하고, 상기 저류실에 저류된 냉매를 증발시키고, 또한 상기 증발실 내에 있어서 노출되어 있는 바닥벽의 표면으로부터 상기 분사구에 이르며 상기 분사구의 하방으로 뻗어 있는 상기 증발실 내의 영역으로서 상기 열 교환부로부터 배출된 상기 냉매를 상기 압축기로 보내는 배출 라인이 접속되어 있는 액 고임 영역을 포함하고,상기 분사구는, 상기 관의 일단에 마련되고, 상기 증발실의 내벽 중 상기 재치면 측에 있는 전달벽을 향하여 상기 관으로부터 냉매가 분사되도록 배치되고,상기 제어부는, 상기 팽창 밸브를 개방으로 하며 상기 분류 밸브를 폐쇄로 하면서 상기 재치대가 제1 온도가 되도록 상기 팽창 밸브의 개도를 조절하고 있는 상황에 있어서 상기 재치대의 온도를 승온시키는 경우에, 상기 재치대로 입열함과 함께, 상기 분류 밸브를 개방으로 하면서 상기 재치대의 온도가 상기 제1 온도보다 높은 제2 온도에 이르도록 상기 분류 밸브의 개도를 조절하는, 온도 조절 시스템.
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