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[한국특허] 온도 조절 시스템
TEMPERATURE ADJUSTMENT SYSTEM
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/67
출원번호 10-2019-0038660 (2019-04-02)
공개번호 10-2019-0116089 (2019-10-14)
등록번호 10-2690146-0000 (2024-07-26)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2018-071854 (2018-04-03)
DOI http://doi.org/10.8080/1020190038660
발명자 / 주소
  • 미츠모리 아키요시 / 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 * 도쿄엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
  • 야마구치 신 / 일본 미야기켄 구로카와군 다이와쵸 테크노 힐즈 * 도쿄엘렉트론 미야기 가부시키가이샤 내
출원인 / 주소
  • 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 / 일본 도쿄도 미나토쿠 아카사카 *쵸메 *반 *고
대리인 / 주소
  • 특허법인태평양
심사청구여부 있음 (2021-12-28)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

일 실시형태에 관한 온도 조절 시스템은 재치대의 온도를 조절한다. 이 온도 조절 시스템의 제어부는, 재치대의 온도를 승온시키는 경우에, 재치대로 입열함과 함께, 분류 밸브를 개방으로 하면서 재치대의 온도가 제1 온도보다 높은 제2 온도에 이르도록 분류 밸브의 개도를 조절한다. 열 교환부는 재치대 내에 마련되어 냉매에 의한 열 교환을 행하고, 압축기는 열 교환부로부터 배출된 냉매를 압축하며, 응축기는 압축기에 의하여 압축된 냉매를 응축하고, 공급 라인은 응축기의 출력단과 열 교환부의 입력단의 사이에 마련되어 냉매를 열 교환부로 보내며

대표청구항

피처리체가 재치되는 재치대의 온도를 조절하는 온도 조절 시스템으로서,상기 재치대 내에 마련되고, 상기 재치대의 재치면을 통하여 냉매에 의한 열 교환을 행하는 열 교환부와,압축기, 응축기, 팽창 밸브, 기체 라인, 및 분류 밸브를 포함하는 칠러 유닛과,상기 응축기의 출력단과 상기 열 교환부의 입력단의 사이에 마련되어 상기 냉매를 상기 열 교환부로 보내는 공급 라인과,상기 열 교환부 및 상기 칠러 유닛의 사이에 마련된 배출 라인과,상기 재치대의 온도를 검출하는 검출 장치와,상기 검출 장치에 의하여 검출된 상기 재치대의 온도에 근거하여,

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 용량성 결합된 플라스마 반응기 내에서 균등한 온도로웨이퍼 지지대를 냉각하는 방법 | 호프만, 다니엘 제이., 브릴하트, 폴 루카스, 포벨, 리챠드, 타바즈소리, 하미드, 부치베르거, 더글러스 에이, 주니어., 번즈, 더글러스 에이치., 베라, 칼롤
  2. [일본] PLASMA TREATING APPARATUS | YOKOGAWA KATANOBU, TANDO TAKUMI, SUGANO SEIICHIRO

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