[특허]식각 조성물 및 이를 이용하는 식각 방법

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C09K-013/06 C09K-013/08 H01L-021/306 H01L-021/3213
출원번호	10-2019-0047811 (2019-04-24)
공개번호	10-2020-0124465 (2020-11-03)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020190047811
발명자 / 주소	이혜희 / 서울특별시 은평구 연서로길 -, 호 박현우 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로 (공세동) 이명호 / 경기도 화성시 동탄순환대로길 , 동 *호 송명근 / 경기도 용인시 수지구 동천로번길 , *동 **호
출원인 / 주소	주식회사 이엔에프테크놀로지 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로번길 (공세동)
대리인 / 주소	특허법인 플러스
법적상태	공개

초록

본 발명은 식각 조성물 및 이를 이용하는 식각방법을 제공하는 것으로, 보다 상세하게는 본 발명은 질화 금속막을 선택적으로 식각하는 식각 조성물, 이를 이용하는 질화 금속막의 식각방법 및 이를 이용하여 수행하는 공정을 포함하는 미세전자 소자의 제조방법을 제공한다.

대표청구항

황산, 과산화수소, 하기 화학식 1로 표시되는 유기 과산화물 및 물을 포함하는 식각 조성물로,상기 유기 과산화물은 상기 식각 조성물 총중량에 대하여 0.001 내지 3중량%를 포함하는 식각 조성물.[화학식 1](상기 화학식 1에서 R은 수소, C1-C3의 알킬 또는 C6-C12의 아릴이다.)

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

[한국] 선택적 배리어 연마 슬러리 | 예 퀴앙큐, 바이언 진루
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[미국] PROCESS FOR DECONTAMINATING OR STERILIZING AN ARTICLE | Burke, Peter A., Leggett, Mark James, Centanni, Michael A.
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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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