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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0048533 (2019-04-25) | |
등록번호 | 10-1992747-0000 (2019-06-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190048533 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-04-25) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
공정 재료를 제조하여 공정으로 공급하는 메인 장치와 공정 재료의 샘플을 메인 장치에서 공급받아 이상 여부를 확인하는 센서를 구비하는 분석기, 분석기에 표준 재료를 제공하는 표준 재료 공급부, 분석기에 센서 클리닝액을 제공하는 센서 클리닝액 공급부, 메인 장치와 분석기 사이에서 물질 및 신호를 중개하며, 공정 재료 샘플, 표준 재료, 센서 클리닝액을 선택적으로 분석기로 보내도록 제어하는 자동클리닝 모듈을 가지는 공정 재료 공급장치에서, 센서의 출력의 하나인 센서 상태 신호가 소정의 센서 관리용 허용 범위를 벗어나면 센서의 이상이라고
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