[특허]센서 신호에 의한 오염 여부 자동 진단 및 클리닝 방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/67 H01L-021/02 H01L-021/304 H01L-021/66
출원번호	10-2019-0048533 (2019-04-25)
등록번호	10-1992747-0000 (2019-06-19)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020190048533
발명자 / 주소	홍기우 / 서울특별시 양천구 오목로 *, 동 **호(목동, 현대하이페리온) 이형일 / 경기도 용인시 수지구 대지로 , 동 *호(죽전동, 대주한신아파트) 한영희 / 경기도 수원시 장안구 경수대로번길 , 동 호(조원동, 수원 한일타운) 홍성진 / 경기도 안양시 만안구 석천로번길 , 제동 층 제**호(석수동, 무림아파트)
출원인 / 주소	(주)엘티에이치 / 서울특별시 구로구 디지털로 * ,*호(구로동,한화비즈메트로차)
대리인 / 주소	특허법인세원
심사청구여부	있음 (2019-04-25)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

공정 재료를 제조하여 공정으로 공급하는 메인 장치와 공정 재료의 샘플을 메인 장치에서 공급받아 이상 여부를 확인하는 센서를 구비하는 분석기, 분석기에 표준 재료를 제공하는 표준 재료 공급부, 분석기에 센서 클리닝액을 제공하는 센서 클리닝액 공급부, 메인 장치와 분석기 사이에서 물질 및 신호를 중개하며, 공정 재료 샘플, 표준 재료, 센서 클리닝액을 선택적으로 분석기로 보내도록 제어하는 자동클리닝 모듈을 가지는 공정 재료 공급장치에서, 센서의 출력의 하나인 센서 상태 신호가 소정의 센서 관리용 허용 범위를 벗어나면 센서의 이상이라고 판단하고 센서 클리닝 신호를 발생시켜 센서에 대한 클리닝을 실시하는 것을 특징으로 하는 센서 신호에 의한 오염 여부 자동 진단 및 클리닝 방법이 개시된다.본 발명에 따르면 공정에서 이상이 발생할 때 짧은 시간 내에 엔지니어의 출동 및 판단에 의한 조치 시간 없이도 센서 이상 여부를 높은 정확도로 즉각적으로 판단하고 통상적인 센서 오염에 의한 이상을 치유하기 위한 클리닝을 자동 실시하여 공정 재료 공급 효율을 높일 수 있다.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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