초록 ▼

전자 현미경에서 전자 에너지 손실 분광법(EELS)을 수행하는 방법으로서,- 시험편 홀더에 시험편을 제공하는 단계;- 소스로부터 전자 빔을 생성하는 단계;- 상기 시험편을 조사하도록 조명기를 사용하여 상기 빔을 지향시키는 단계;- 이미징 시스템을 사용하여 상기 시험편을 통해 투과된 전자의 플럭스를 수신하고, 이를· EELS 스펙트럼을 형성하도록 상기 플럭스를 분산 방향으로 분산시키기 위한 분산 장치;· 복수의 검출 영역으로 세분되는 검출 표면을 포함하는 검출기;를 포함하는 분광 장치 상으로 지향시키는 단계;를 포함하며, 특히- 적어

전자 현미경에서 전자 에너지 손실 분광법(EELS)을 수행하는 방법으로서,- 시험편 홀더에 시험편을 제공하는 단계;- 소스로부터 전자 빔을 생성하는 단계;- 상기 시험편을 조사하도록 조명기를 사용하여 상기 빔을 지향시키는 단계;- 이미징 시스템을 사용하여 상기 시험편을 통해 투과된 전자의 플럭스를 수신하고, 이를· EELS 스펙트럼을 형성하도록 상기 플럭스를 분산 방향으로 분산시키기 위한 분산 장치;· 복수의 검출 영역으로 세분되는 검출 표면을 포함하는 검출기;를 포함하는 분광 장치 상으로 지향시키는 단계;를 포함하며, 특히- 적어도 제1 검출 영역, 제2 검출 영역 및 제3 검출 영역을 사용하여 복수의 EELS 스펙트럼 엔티티를 등록하는 단계;- 상기 제3 검출 영역이 상기 복수의 EELS 스펙트럼 엔티티 중 하나를 등록하는 동안 상기 제1 및 제2 검출 영역을 판독하는 단계를 포함하는 방법.

대표청구항 ▼

전자 현미경에서 전자 에너지 손실 분광법(EELS)을 수행하는 방법으로서,- 시험편 홀더에 시험편을 제공하는 단계;- 소스로부터 전자 빔을 생성하는 단계;- 상기 시험편을 조사하도록 조명기를 사용하여 상기 빔을 지향시키는 단계;- 이미징 시스템을 사용하여 상기 시험편을 통해 투과된 전자의 플럭스를 수신하고, 이를 · EELS 스펙트럼을 형성하도록 상기 플럭스를 분산 방향으로 분산시키기 위한 분산 장치;· 복수의 검출 영역으로 세분되는 검출 표면을 포함하는 검출기;를 포함하는 분광 장치 상으로 지향시키는 단계;를 포함하며,상기 방법은

전자 현미경에서 전자 에너지 손실 분광법(EELS)을 수행하는 방법으로서,- 시험편 홀더에 시험편을 제공하는 단계;- 소스로부터 전자 빔을 생성하는 단계;- 상기 시험편을 조사하도록 조명기를 사용하여 상기 빔을 지향시키는 단계;- 이미징 시스템을 사용하여 상기 시험편을 통해 투과된 전자의 플럭스를 수신하고, 이를 · EELS 스펙트럼을 형성하도록 상기 플럭스를 분산 방향으로 분산시키기 위한 분산 장치;· 복수의 검출 영역으로 세분되는 검출 표면을 포함하는 검출기;를 포함하는 분광 장치 상으로 지향시키는 단계;를 포함하며,상기 방법은,- 적어도 제1 검출 영역, 제2 검출 영역 및 제3 검출 영역을 사용하여 복수의 EELS 스펙트럼 엔티티를 연속적으로 등록하는 단계를 포함하며,상기 제1 검출 영역이 판독 사이클을 겪는 동안, 상기 제2 검출 영역 및 상기 제3 검출 영역은 연속적인 등록 사이클을 겪는, 방법.