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연합인증

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이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

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기판처리장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/67
  • H01J-037/32
  • H05H-001/46
출원번호 10-2019-0059791 (2019-05-22)
공개번호 10-2020-0033715 (2020-03-30)
등록번호 10-2248942-0000 (2021-04-29)
우선권정보 대한민국(KR) 1020180112622 (2018-09-20)
DOI http://doi.org/10.8080/1020190059791
발명자 / 주소
  • 강도환 / 서울특별시 양천구 신정로 ***(신정동, 신트리*단지아파트) ***-****
  • 김준기 / 경기도 용인시 처인구 금어로 ** 삼정그린뷰아파트 ***-***
  • 김형창 / 경기도 용인시 기흥구 사은로***번길 ** 현대아파트*차 ***-****
출원인 / 주소
  • 주식회사 테스 / 경기도 용인시 처인구 양지면 중부대로 ****-**
대리인 / 주소
  • 이재홍
심사청구여부 있음 (2019-05-22)
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 등록

초록

본 발명은 기판처리장치에 대한 것으로서, 보다 상세하게는 대면적 기판에 대한 공정을 수행하는 기판처리장치에 있어서 기판처리장치의 챔버 내부로 각종 가스를 공급하는 경우에 가스를 균일하게 기판처리장치의 내부에서 분산시킬 수 있는 기판처리장치에 대한 것이다.

대표청구항 ▼

기판에 대한 처리공간을 제공하는 챔버;상기 챔버 내측의 상부에 구비되는 백킹플레이트와, 상기 백킹플레이트의 하면에 이격되어 연결되며 공정가스 또는 세정가스를 공급하는 샤워헤드를 구비하는 가스공급유닛;상기 가스공급유닛으로 공정가스를 공급하는 공정가스 공급유닛;상기 가스공급유닛으로 활성화된 세정가스를 공급하는 적어도 둘 이상의 세정가스 공급유닛; 및상기 챔버의 뷰포트(view port) 외측에 구비되어 상기 챔버 내부의 세정정도를 감지하는 세정감지센서유닛;을 구비하고,상기 세정감지센서유닛은 상기 뷰포트를 향해 광을 투사하는 투사부와,

이 특허에 인용된 특허 (2)

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  2. [한국] 증착 장치 및 그 구동 방법 | 지승헌, 손진석
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