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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0066891 (2019-06-05) | |
등록번호 | 10-2031920-0000 (2019-10-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190066891 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-06-05) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 인산암모늄 폐액에서 제1인산암모늄 과립을 추출하는 인산과립 제조장치에 관한 것으로서, 다수의 반도체 식각공정에서 획득된 인산암모늄 폐액을 전용 운송차량에 의해 집액하는 복수의 폐액수거기와; 상기 복수의 폐액수거기를 통해 집액된 인산암모늄 폐액을 저장하는 저장탱크와; 상기 저장탱크의 pH를 조정하기 위해 일정량의 알칼리성 물질 또는 산성 물질로 이루어지는 조정성분을 투입하는 pH조정부와; 상기 저장탱크에서 인산암모늄 폐액에 조정성분이 투입된 혼합액을 이송하면서 분할 저장하여 일정시간 대기하는 버퍼와; 상기 버퍼로부터 공급된
다수의 반도체 식각공정에서 획득된 인산암모늄 폐액을 전용 운송차량에 의해 집액하는 복수의 폐액수거기(10)와; 상기 복수의 폐액수거기(10)를 통해 집액된 인산암모늄 폐액을 저장하는 저장탱크(20)와;상기 저장탱크(20)의 pH를 조정하기 위해 일정량의 알칼리성 물질 또는 산성 물질로 이루어지는 조정성분을 투입하는 pH조정부(30)와; 상기 저장탱크(20)에서 인산암모늄 폐액에 조정성분이 투입된 혼합액을 이송하면서 분할 저장하여 일정시간 대기하는 버퍼(40)와;상기 버퍼(40)로부터 공급된 혼합액을 분무기(atomizer) 노즐을
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