[특허]웨이퍼 다이싱 가공용 보호 유무기복합코팅제 조성물 및 이를 포함하는 보호 코팅제

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C09D-183/04 C09D-133/00 C09D-163/00 C09D-167/00 C09D-175/04 H01L-021/78
출원번호	10-2019-0071072 (2019-06-14)
공개번호	10-2020-0143145 (2020-12-23)
등록번호	10-2312935-0000 (2021-10-07)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020190071072
발명자 / 주소	심현호 / 인천광역시 연수구 벚꽃로 *, 동 *호(연수동, 대동아파트) 전성호 / 인천광역시 부평구 세월천로 , *동 호(청천동, 청천푸르지오아파트) 조준휘 / 경기도 안산시 상록구 해양로 , 동 호(사동, 안산고잔차푸르지오) 이지원 / 경기도 안산시 단원구 광덕로 , 동 호(초지동, 호수마을아파트) 박은지 / 경기도 시흥시 인선길 , 동 *호(장곡동, 숲속마을아파트)
출원인 / 주소	(주)엠티아이 / 경기도 안산시 단원구 원시로 *- (원시동)
대리인 / 주소	리앤목특허법인
심사청구여부	있음 (2019-06-14)
심사진행상태	등록결정(재심사후)
법적상태	등록

초록

본 발명에 의한 웨이퍼 가공용 유무기복합 보호 코팅제에 의하면 웨이퍼 표면에 유무기복합수지 코팅층을 형성시킴으로써, 반도체 제조 공정 중에 웨이퍼의 절삭을 포함하는 가공 공정에서 웨이퍼 표면 상에 발생하는 손상을 근본적으로 방지하며 내오염성, 부착성을 증가시킬 수 있는보호 코팅제를 제조할 수 있다.

대표청구항 ▼

(A) 폴리에스테르계 화합물, 및 아크릴계 화합물 중 어느 하나와 실록산 무기수지 화합물을 반응시켜 수득되는 유무기 복합 수지 10 내지 70 중량부; 및(B) 용매 30 내지 90 중량부;를 포함하는, 다이싱 공정용 보호코팅 조성물로서,상기 폴리에스테르계 화합물은 하기 화학식 4로 표시되는 화합물이고,상기 아크릴계 화합물은 하기 화학식 5로 표시되는 화합물인, 다이싱 공정용 보호코팅 조성물.[화학식 4]상기 화학식 4에서, 상기 m은 1 내지 60의 유리수이고, 상기 n은 0 내지 60의 범위 내의 유리수임.[화학식 5]상기 화학

내보내기 메뉴

내보내기 구분

파일저장
인쇄
메일전송

구성항목

기본정보
상세정보

관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC

저장형식

Text(ASCII format)
Excel format
PIAS분석(.xls)

메일정보

받는사람 (필수): @
보내는사람 (선택): @
제목
내용: KISTI 검색결과 이메일 서비스

안내

총 건의 자료가 검색되었습니다.

다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000)

검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다.

데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요)

다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다.
파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오.

Text(ASCII format)
Excel format

AI-Helper ※ AI-Helper는 을 사용합니다.

AI-Helper

안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

연합인증

웨이퍼 다이싱 가공용 보호 유무기복합코팅제 조성물 및 이를 포함하는 보호 코팅제 원문보기

초록

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

이 특허에 인용된 특허 (3)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

이 특허와 함께 이용한 콘텐츠

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
저장형식	Text(ASCII format) Excel format PIAS분석(.xls)
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format