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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2019-0079451 (2019-07-02) | |
| 공개번호 | 10-2021-0003542 (2021-01-12) | |
| 등록번호 | 10-2243109-0000 (2021-04-16) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020190079451 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2019-07-02) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은, 웨이퍼 레벨 전사를 이용한 중/소형 디스플레이의 대량 제조방법 및 대형 디스플레이에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 웨이퍼 레벨의 마이크로-LED 어레이를 제조하는 단계; 상기 복수개의 웨이퍼 레벨의 마이크로-LED 어레이를 웨이퍼 레벨 전사 공정으로 디스플레이 기판 상에 전사하는 단계; 상기 전사된 마이크로-LED 어레이 상에 평탄층을 형성하여 평탄화하는 단계; 상기 평탄층에 비아홀을 형성하는 단계; 및 상기 평탄화된 마이크로-LED 어레이 상에 TFT 어레이를 배열 및 증착하여 마이크로-LED 어레이와 TFT 어레이
디스플레이의 제조방법으로서,상기 제조방법은:웨이퍼 레벨의 마이크로-LED 어레이를 제조하는 단계; 복수개의 웨이퍼 레벨의 마이크로-LED 어레이를 웨이퍼 레벨 전사 공정으로 디스플레이 기판 상에 전사하는 단계; 상기 전사된 복수개의 마이크로-LED 어레이 상에 평탄층을 형성하여 평탄화하는 단계;상기 평탄층에 비아홀을 형성하는 단계; 및 상기 평탄화된 복수개의 마이크로-LED 어레이 상에 TFT 어레이 제작용 박막들의 증착 및 형태 형성 공정을 TFT 어레이를 배열 및 증착하여 마이크로-LED 어레이와 TFT 어레이를 집적하는 단계;
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