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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0123270 (2019-10-04) | |
공개번호 | 10-2021-0040685 (2021-04-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190123270 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명은 웨이퍼의 회로 검사를 수행하는 프로브 카드에 관한 것으로서, 특히 프로브 삽입 구멍의 미세화 및 협피치 구현이 가능한 프로브 카드에 관한 것이다.
제1플레이트;상기 제1플레이트의 하부에 결합되는 제2플레이트;상기 제1플레이트의 상면에 구비되는 상부 가이드 플레이트; 및상기 제2플레이트의 하면에 구비되는 하부 가이드 플레이트;를 포함하고,상기 상, 하부 가이드 플레이트 중 적어도 하나는 양극산화막 재질로 구성되고,상기 상, 하부 가이드 플레이트는 상기 제1, 2플레이트의 면적보다 작은 면적으로 구비되어 상기 제1, 2플레이트의 표면이 노출되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
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