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연합인증

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이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

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프로브 카드 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G01R-001/073
  • G01R-001/04
  • G01R-031/28
출원번호 10-2019-0174829 (2019-12-26)
공개번호 10-2021-0082661 (2021-07-06)
등록번호 10-2342805-0000 (2021-12-20)
DOI http://doi.org/10.8080/1020190174829
발명자 / 주소
  • 안범모 / 경기도 수원시 영통구 에듀타운로 ** , ****동 ****호 (이의동, 자연&자이아파트)
  • 박승호 / 경기도 화성시 향남읍 행정중앙*로 ** 향남시범넓은들마을에일린의뜰아파트, ***-****
  • 송태환 / 충청남도 천안시 서북구 늘푸른*길 ** 부경아파트 ***-***
출원인 / 주소
  • (주)포인트엔지니어링 / 충청남도 아산시 둔포면 아산밸리로 **
대리인 / 주소
  • 최광석
심사청구여부 있음 (2021-08-11)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 웨이퍼의 회로 검사를 수행하는 프로브 카드에 관한 것으로서, 특히 양극산화막 재질로 구성된 공간변환기와 주변 부품간의 결합 관계를 고려하여 고온의 환경에서도 열변형을 최소화하여 얼라인이 틀어지거나 파손되는 문제를 방지할 수 있는 프로브 카드에 관한 것이다.

대표청구항

양극산화막 재질로 구성되고, 수직 배선부와, 상기 수직 배선부와 연결되도록 구비되는 수평 배선부 및 복수개의 프로브와 전기적으로 연결되는 프로브 접속 패드를 구비하는 공간변환기; 및 일단이 상기 공간변환기의 표면에 고정되고 타단이 상기 공간변환기의 상측에 구비되는 회로 기판에 결합되는 결합부재;를 포함하고,상부 가이드 구멍을 구비하는 상부 가이드 플레이트 및 하부 가이드 구멍을 구비하는 하부 가이드 플레이트를 포함하는 프로브 헤드를 더 포함하고,상기 상부 가이드 플레이트 또는 상기 하부 가이드 플레이트 중 적어도 하나는 복수개의 단

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. [한국] 프로브 카드 | 김형익, 이호준
  2. [한국] 프로브 카드 | 안윤태, 김태현
  3. [국제] MICROSTRUCTURE, MULTILAYER WIRING BOARD, SEMICONDUCTOR PACKAGE AND MICROSTRUCTURE MANUFACTURING METHOD | YAMASHITA KOSUKE,
  4. [한국] 프로브 카드용 기판 및 이를 이용한 프로브 카드 | 안범모, 박승호, 변성현
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