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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0133932 (2019-10-25) | |
공개번호 | 10-2021-0050045 (2021-05-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190133932 | |
발명자 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명은 금속 또는 비금속 재질의 모재에 복수층의 박막층이 형성된 다중 박막층을 구비한 부재 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히, 부재의 박막층을 다중으로 형성하여 치밀하게 유지하고, 금속 재질 및 비금속 재질의 모재에도 다중 박막층의 형성이 가능한 다중 박막층을 구비한 부재 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
모재의 상부에 금속 재질 또는 비금속 재질의 도금층이 형성되고, 상기 도금층의 상부에 제1-1차 전구체를 흡착시키고, 상기 제1-1차 전구체와는 다른 종류의 제1-2차 반응체를 공급하여 상기 제1-2차 반응체와 상기 제1-1차 전구체와의 화학적 치환으로 제1단원자층을 생성시켜 상기 제1단원자층으로 구성되는 제1박막층이 상기 도금층의 상부에 형성되는 것을 특징으로 하는 다중 박막층을 구비한 부재.
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