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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0011850 (2020-01-31) | |
공개번호 | 10-2021-0098090 (2021-08-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200011850 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명에 따른 프로브 헤드 및 이를 포함하는 프로브 카드에 있어서, 상부 가이드 구멍을 구비하는 상부 가이드 플레이트; 하부 가이드 구멍을 구비하는 하부 가이드 플레이트; 및 중간부 가이드 구멍을 구비하고, 상기 상부 가이드 플레이트 및 상기 하부 가이드 플레이트의 사이에 구비되는 중간부 가이드 플레이트를 포함하고,복수개의 프로브가 상기 상부 가이드 구멍, 상기 중간부 가이드 구멍 및 상기 하부 가이드 구멍을 순차적으로 관통하며,상기 중간부 가이드 플레이트는 양극산화막 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는, 프로브 카드의 프로브 헤
상부 가이드 구멍을 구비하는 상부 가이드 플레이트;하부 가이드 구멍을 구비하는 하부 가이드 플레이트; 및중간부 가이드 구멍을 구비하고, 상기 상부 가이드 플레이트 및 상기 하부 가이드 플레이트의 사이에 구비되는 중간부 가이드 플레이트를 포함하고,복수개의 프로브가 상기 상부 가이드 구멍, 상기 중간부 가이드 구멍 및 상기 하부 가이드 구멍을 순차적으로 관통하며,상기 중간부 가이드 플레이트는 양극산화막 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 프로브 헤드.
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