[특허]다중 박막층을 구비한 부재 및 그 제조 방법

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C23C-016/455 C23C-016/32 C23C-016/34 C23C-016/40 C23C-016/44 C23C-028/00 C23C-028/04 H01J-037/32 H01L-021/02 H01L-021/288 H01L-021/768
출원번호	10-2019-0133932 (2019-10-25)
공개번호	10-2021-0050045 (2021-05-07)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020190133932
발명자 / 주소	안범모 / 경기도 수원시 영통구 에듀타운로 , 동 **호 (이의동, 자연&자이아파트)
출원인 / 주소	(주)포인트엔지니어링 / 충청남도 아산시 둔포면 아산밸리로 **
대리인 / 주소	최광석
법적상태	공개

초록

본 발명은 금속 또는 비금속 재질의 모재에 복수층의 박막층이 형성된 다중 박막층을 구비한 부재 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히, 부재의 박막층을 다중으로 형성하여 치밀하게 유지하고, 금속 재질 및 비금속 재질의 모재에도 다중 박막층의 형성이 가능한 다중 박막층을 구비한 부재 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

대표청구항

모재의 상부에 금속 재질 또는 비금속 재질의 도금층이 형성되고, 상기 도금층의 상부에 제1-1차 전구체를 흡착시키고, 상기 제1-1차 전구체와는 다른 종류의 제1-2차 반응체를 공급하여 상기 제1-2차 반응체와 상기 제1-1차 전구체와의 화학적 치환으로 제1단원자층을 생성시켜 상기 제1단원자층으로 구성되는 제1박막층이 상기 도금층의 상부에 형성되는 것을 특징으로 하는 다중 박막층을 구비한 부재.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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