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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0174829 (2019-12-26) | |
공개번호 | 10-2021-0082661 (2021-07-06) | |
등록번호 | 10-2342805-0000 (2021-12-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190174829 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-08-11) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 웨이퍼의 회로 검사를 수행하는 프로브 카드에 관한 것으로서, 특히 양극산화막 재질로 구성된 공간변환기와 주변 부품간의 결합 관계를 고려하여 고온의 환경에서도 열변형을 최소화하여 얼라인이 틀어지거나 파손되는 문제를 방지할 수 있는 프로브 카드에 관한 것이다.
양극산화막 재질로 구성되고, 수직 배선부와, 상기 수직 배선부와 연결되도록 구비되는 수평 배선부 및 복수개의 프로브와 전기적으로 연결되는 프로브 접속 패드를 구비하는 공간변환기; 및 일단이 상기 공간변환기의 표면에 고정되고 타단이 상기 공간변환기의 상측에 구비되는 회로 기판에 결합되는 결합부재;를 포함하고,상부 가이드 구멍을 구비하는 상부 가이드 플레이트 및 하부 가이드 구멍을 구비하는 하부 가이드 플레이트를 포함하는 프로브 헤드를 더 포함하고,상기 상부 가이드 플레이트 또는 상기 하부 가이드 플레이트 중 적어도 하나는 복수개의 단
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