초록 ▼

초음파 검사 장치(1)는 패키지화된 반도체 디바이스(D)를 검사 대상으로 하는 장치로서, 반도체 디바이스(D)에 대해서 초음파(W)를 출력하는 초음파 진동자(2)와, 반도체 디바이스(D)에서 반사된 초음파(W)의 반사파를 검출하는 리시버(반사 검출부)(13)와, 반도체 디바이스(D)와 초음파 진동자(2)의 상대 위치를 이동시키는 스테이지(3)와, 스테이지(3)의 구동을 제어하는 스테이지 제어부(21)와, 초음파 진동자(2)에 의한 초음파(W)의 입력에 따른 반도체 디바이스(D)의 반응을 해석하는 해석부(22)를 구비하고, 스테이지

초음파 검사 장치(1)는 패키지화된 반도체 디바이스(D)를 검사 대상으로 하는 장치로서, 반도체 디바이스(D)에 대해서 초음파(W)를 출력하는 초음파 진동자(2)와, 반도체 디바이스(D)에서 반사된 초음파(W)의 반사파를 검출하는 리시버(반사 검출부)(13)와, 반도체 디바이스(D)와 초음파 진동자(2)의 상대 위치를 이동시키는 스테이지(3)와, 스테이지(3)의 구동을 제어하는 스테이지 제어부(21)와, 초음파 진동자(2)에 의한 초음파(W)의 입력에 따른 반도체 디바이스(D)의 반응을 해석하는 해석부(22)를 구비하고, 스테이지 제어부(21)는, 리시버(13)로 검출된 반사파의 시간 파형 K에 출현하는 피크에 기초하여, 반도체 디바이스(D)와 초음파 진동자(2)의 거리를 제어한다.

대표청구항 ▼

패키지화된 반도체 디바이스를 검사 대상으로 하는 초음파 검사 장치로서,상기 반도체 디바이스에 대해서 초음파를 출력하는 초음파 진동자와,상기 초음파 진동자와 상기 반도체 디바이스 사이에 상기 초음파를 전파시키는 매질을 유지하는 매질 유지부와,상기 반도체 디바이스에서 반사된 상기 초음파의 반사파를 검출하는 반사 검출부와,상기 반도체 디바이스와 상기 초음파 진동자의 상대 위치를 이동시키는 스테이지와,상기 스테이지의 구동을 제어하는 스테이지 제어부와,상기 초음파 진동자에 의한 초음파의 입력에 따른 상기 반도체 디바이스의 반응을 해석하는 해

패키지화된 반도체 디바이스를 검사 대상으로 하는 초음파 검사 장치로서,상기 반도체 디바이스에 대해서 초음파를 출력하는 초음파 진동자와,상기 초음파 진동자와 상기 반도체 디바이스 사이에 상기 초음파를 전파시키는 매질을 유지하는 매질 유지부와,상기 반도체 디바이스에서 반사된 상기 초음파의 반사파를 검출하는 반사 검출부와,상기 반도체 디바이스와 상기 초음파 진동자의 상대 위치를 이동시키는 스테이지와,상기 스테이지의 구동을 제어하는 스테이지 제어부와,상기 초음파 진동자에 의한 초음파의 입력에 따른 상기 반도체 디바이스의 반응을 해석하는 해석부를 구비하고,상기 매질 유지부는 상기 초음파 진동자의 단부에 슬라이드 가능하게 설치되어, 상기 매질을 유지하는 용적 가변의 유지 공간을 형성하는 통 모양 부재를 가지고,상기 스테이지 제어부는, 상기 반사 검출부로 검출된 상기 반사파의 시간 파형에 출현하는 피크에 기초하여, 상기 반도체 디바이스와 상기 초음파 진동자의 거리를 제어하는 초음파 검사 장치.