왕 가오젠
/ 중국, 후베이 ******, *** 가오신 애비뉴 우한 이스트 레이크 하이-테크 디벨롭먼트 존 우한, 바이오레이크 오브 옵틱트 밸리, 빌딩 씨*
출원인 / 주소
우한 차이나 스타 옵토일렉트로닉스 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 / 중국 후베이 프로빈스, 우한, 우한 이스트 레이크 하이-테크 디벨롭먼트 존, 가오신 로드, 빌딩 씨*, 바이오레이크, 넘버 ***
대리인 / 주소
특허법인(유한)유일하이스트
심사청구여부
있음 (2019-05-28)
심사진행상태
등록결정(일반)
법적상태
등록
초록▼
본 발명은 OLED 기판 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명의OLED 기판의 제조 방법은 무기재료를 사용하여 화소 정의막을 형성하여 포토 레지스트 박리 공정에서 화소 정의막이 잘못 박리되는 위험을 줄이고, 증착 공정에서 미세 금속 마스크가 오염되는 위험을 줄이고, 미세 금속 마스크의 세정 빈도를 줄이고, 미세 금속 마스크의 사용 효율을 향상시킬 수 있다. 본 발명의 OLED 기판은 전술한 OLED 기판의 제조 방법에 의해 제조되며, 화소 정의막은 완전한 구조를 가지며, 하부 애노드와 베이스 기판을 효과적으로 보호할 수 있고, 양
본 발명은 OLED 기판 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명의OLED 기판의 제조 방법은 무기재료를 사용하여 화소 정의막을 형성하여 포토 레지스트 박리 공정에서 화소 정의막이 잘못 박리되는 위험을 줄이고, 증착 공정에서 미세 금속 마스크가 오염되는 위험을 줄이고, 미세 금속 마스크의 세정 빈도를 줄이고, 미세 금속 마스크의 사용 효율을 향상시킬 수 있다. 본 발명의 OLED 기판은 전술한 OLED 기판의 제조 방법에 의해 제조되며, 화소 정의막은 완전한 구조를 가지며, 하부 애노드와 베이스 기판을 효과적으로 보호할 수 있고, 양호한 소자 성능을 가질 수 있다.
대표청구항▼
OLED 기판의 제조 방법으로, 단계 1, 베이스 기판을 제공하고, 상기 베이스 기판 상에 이격되어 배치된 복수의 애노드를 형성하고, 상기 베이스 기판 및 상기 복수의 애노드 상에 무기막층을 침적하는 단계;단계 2, 상기 무기막층을 하프톤 마스크로 패터닝하여 화소 정의막을 형성하고, 상기 화소 정의막 상에 복수의 스페이서를 형성하고, 상기 화소 정의막 상에 배치되고 상기 복수의 애노드에 각각 대응하는 복수의 개구부를 형성하고, 각 개구부에 대응하는 애노드의 적어도 일부를 노출시킴으로써 제 1 기판을 얻는 단계;단계 3, 상기 제 1
OLED 기판의 제조 방법으로, 단계 1, 베이스 기판을 제공하고, 상기 베이스 기판 상에 이격되어 배치된 복수의 애노드를 형성하고, 상기 베이스 기판 및 상기 복수의 애노드 상에 무기막층을 침적하는 단계;단계 2, 상기 무기막층을 하프톤 마스크로 패터닝하여 화소 정의막을 형성하고, 상기 화소 정의막 상에 복수의 스페이서를 형성하고, 상기 화소 정의막 상에 배치되고 상기 복수의 애노드에 각각 대응하는 복수의 개구부를 형성하고, 각 개구부에 대응하는 애노드의 적어도 일부를 노출시킴으로써 제 1 기판을 얻는 단계;단계 3, 상기 제 1 기판 상에 상기 화소 정의막, 복수의 스페이서 및 애노드를 덮는 포토 레지스트층을 도포하고, 상기 포토 레지스트층으로 도포된 상기 제 1 기판을 절단하여 복수의 제 2 기판을 얻는 단계;단계 4, 상기 제 2 기판 상의 상기 포토 레지스트층을 박리하여 제 3 기판을 얻는 단계; 및 단계 5, 상기 제 3 기판 상의 상기 복수의 개구부 내에 하부에서 상부로 정공 주입층, 정공 수송층, 유기 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층 및 캐소드를 순차적으로 형성하여 OLED 기판을 얻는 단계를 포함하는, OLED 기판의 제조 방법.
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