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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0002546 (2020-01-08) | |
공개번호 | 10-2021-0089406 (2021-07-16) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200002546 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-01-08) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
EUV 용 블랭크마스크는, 기판 상에 적층된 반사막, 반사막 상에 적층된 흡수막을 구비한다.상기 반사막은, Ru 로 구성되거나 Ru 에 Mo, Nb, Zr 중 하나 이상의 원소가 추가된 Ru 화합물로 구성된 제1층, 및 Si 로 구성된 제2층이 교번적으로 적층된 다층막 구조를 갖는다.다층 구조의 반사막을 구비한 EUV 용 블랭크마스크에서 반사막을 구성하는 각 층들 사이의 층간확산(interdiffusion)이 억제된다.
기판, 상기 기판 상에 적층된 반사막, 상기 반사막 상에 적층된 흡수막을 포함하는 EUV 용 블랭크마스크로서,상기 반사막은, Ru 로 구성되거나 Ru 에 Mo, Nb, Zr 중 하나 이상의 원소가 추가된 Ru 화합물로 구성된 제1층, 및 Si 로 구성된 제2층이 교번적으로 적층된 다층막 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 EUV 용 블랭크마스크.
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