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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2020-0004551 (2020-01-14) | |
| 공개번호 | 10-2021-0091413 (2021-07-22) | |
| 등록번호 | 10-2313087-0000 (2021-10-08) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020200004551 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2020-01-14) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
OHT 주행 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 주행 시스템은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일; 상기 주행 레일에 일정 간격을 가지고 반복적으로 배치되는 주행 태그; 상기 주행 레일 상에서 주행하는 OHT; 및 상기 주행 레일에서 OHT의 주행 시 발생하는 오차를 확인 및 개선하는 오차 관리부;를 포함할 수 있다. 상기 오차 관리부는 상기 OHT의 주행 맵 데이터가 저장되는 저장부; 상기 저장부에 저장된 주행 맵 데이터를 상기 OHT가 실제 주행하여 얻은 데이터와 비교하는 비교부; 및 상기 비
반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일;상기 주행 레일에 이격되어 반복적으로 배치되는 주행 태그; 상기 주행 레일 상에서 주행하는 OHT; 및 상기 주행 레일에서 OHT의 주행 시 발생하는 오차를 확인 및 개선하는 오차 관리부;를 포함하고,상기 오차 관리부는 OHT를 반복 주행하도록 제어하여 오차 여부를 확인하며,상기 오차 관리부는, 상기 OHT의 반복 주행을 통해 상기 주행 태그의 손상 여부를 함께 검사하는 OHT 주행 시스템.
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