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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

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FOUP 이송 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/677
  • B65G-001/04
  • B65G-001/137
출원번호 10-2022-7021025 (2022-06-21)
공개번호 10-2022-0126717 (2022-09-16)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2020-003681 (2020-01-14)
국제출원번호 PCT/JP2020/045024 (2020-12-03)
국제공개번호 WO 2021/145087 (2021-07-22)
번역문제출일자 2022-06-21
DOI http://doi.org/10.8080/1020227021025
발명자 / 주소
  • 후지시로 요시유키 / 일본국 히로시마껜 후쿠야마시 간나베죠 아자미치노우에 ****-* 로제 가부시키가이샤 나이
출원인 / 주소
  • 로제 가부시키가이샤 / 일본국 히로시마껜 후쿠야마시 간나베죠 아자미치노우에 ****-*
대리인 / 주소
  • 하영욱
법적상태 공개

초록

로드 포트와의 사이에서 FOUP를 이송하는 FOUP 이송 장치로서, 이미 설치되어 있는 반송 장치의 개조 작업을 가능한 한 적게 할 수 있는 FOUP 이송 장치를 제공하는 것. 1개 또는 그 이상의 로드 포트(18-1, 18-2)를 구비하는 반송 장치의 로드 포트 근방에 설치되고, 로드 포트(18-1, 18-2)와의 사이에서 FOUP(3)의 주고 받기를 행하는 FOUP 이송 장치(1-1, 1-2)로서, FOUP 이송 장치(1-1, 1-2)는 제 1 광 I/O 통신 장치(31-3, 31-4)를 갖고 있고, 또한, 로드 포트(18-1,

대표청구항

1개 또는 그 이상의 로드 포트를 구비하는 반송 장치의 상기 로드 포트 근방에 설치되고, 상기 로드 포트와의 사이에서 FOUP의 주고 받기를 행하는 FOUP 이송 장치로서,상기 FOUP 이송 장치는 제 1 통신 장치를 갖고 있고, 또한, 상기 로드 포트가 구비하는 제 2 통신 장치가 접속되고, 상기 로드 포트와 OHT 반송 대차가 구비하는 제 3 통신 장치 사이에서 행하는 통신을 상기 로드 포트를 대신해서 행하는 것을 특징으로 하는 FOUP 이송 장치.

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