초록 ▼

본 발명은 콜드 플라즈마의 점화(초기 방전)를 효율적으로 구현할 수 있고, 공동 임피던스의 매칭을 용이하게 행할 수 있으며, 나아가 다중 플라즈마 어레이 구성에서 단일 파워서플라이를 통해 복수의 플라즈마 소스에 균등한 파워 분배가 가능하고 유효 플라즈마 볼륨을 증대시킬 수 있어 살균 처리와 관련된 용도에 최적화 되는 콜드 플라즈마 발생장치 및 이를 포함하는 다중 콜드 플라즈마 어레이 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 일단에 방출구멍이 형성되는 장치 하우징; 상기 장치 하우징의 길이방향 센터라인을 따라 구비되는 전도성 재질의

본 발명은 콜드 플라즈마의 점화(초기 방전)를 효율적으로 구현할 수 있고, 공동 임피던스의 매칭을 용이하게 행할 수 있으며, 나아가 다중 플라즈마 어레이 구성에서 단일 파워서플라이를 통해 복수의 플라즈마 소스에 균등한 파워 분배가 가능하고 유효 플라즈마 볼륨을 증대시킬 수 있어 살균 처리와 관련된 용도에 최적화 되는 콜드 플라즈마 발생장치 및 이를 포함하는 다중 콜드 플라즈마 어레이 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 일단에 방출구멍이 형성되는 장치 하우징; 상기 장치 하우징의 길이방향 센터라인을 따라 구비되는 전도성 재질의 중앙 컨덕터; 상기 장치 하우징의 일측에 구비되어 상기 장치 하우징의 공동으로 플라즈마 가스가 유입되도록 연결되는 니플 부재; 상기 중앙 컨덕터의 일측에 직교되는 방향으로 일체로 연장 형성되고, 마이크로웨이브 제너레이터의 마이크로웨이브를 상기 중앙 컨덕터로 전달하도록 구비되는 마이크로웨이브 전달 부재; 및 상기 장치 하우징의 타단부에 구비되되 마이크로웨이브 반사를 최소화하고 마이크로웨이브 소스에 대한 공동 임피던스를 매칭시키기 위하여 상기 장치 하우징의 공동에서 상기 중앙 컨덕터의 노출 길이가 조절되도록 하는 임피던스매칭 조절부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 콜드 플라즈마 소스장치가 제공된다.

대표청구항 ▼

내부 공간을 갖는 처리 챔버;상기 처리 챔버의 내부 공간에 구비되어 처리 대상물이 설치되는 처리대상물 수용부재;상기 처리대상물 수용부재를 회전시키도록 구성되는 회전 교반 장치;상기 처리 챔버에 배열 구비되는 복수의 콜드 플라즈마 발생장치;상기 복수의 콜드 플라즈마 발생장치를 점화시키도록 구성되는 점화 유닛;상기 복수의 콜드 플라즈마 발생장치에 파워를 공급하도록 구성되는 파워 서플라이;상기 파워 서플라이에서 공급되는 파워를 복수의 콜드 플라즈마 발생장치에 균등 분배하도록 구성되는 파워 분배 유닛; 및상기 처리 챔버로 가스 또는 가스

내부 공간을 갖는 처리 챔버;상기 처리 챔버의 내부 공간에 구비되어 처리 대상물이 설치되는 처리대상물 수용부재;상기 처리대상물 수용부재를 회전시키도록 구성되는 회전 교반 장치;상기 처리 챔버에 배열 구비되는 복수의 콜드 플라즈마 발생장치;상기 복수의 콜드 플라즈마 발생장치를 점화시키도록 구성되는 점화 유닛;상기 복수의 콜드 플라즈마 발생장치에 파워를 공급하도록 구성되는 파워 서플라이;상기 파워 서플라이에서 공급되는 파워를 복수의 콜드 플라즈마 발생장치에 균등 분배하도록 구성되는 파워 분배 유닛; 및상기 처리 챔버로 가스 또는 가스 혼합물을 순환 공급하도록 구성되는 가스 순환공급 유닛;을 포함하고,상기 처리대상물 수용부재는 테프론 재질 또는 유리섬유 재질의 네팅(netting)으로 이루어지고,상기 콜드 플라즈마 발생장치는, 일단에 방출구멍이 형성되는 장치 하우징과, 상기 장치 하우징의 길이방향 센터라인을 따라 구비되는 전도성 재질의 중앙 컨덕터와, 상기 장치 하우징의 일측에 구비되어 상기 장치 하우징의 공동으로 플라즈마 가스가 유입되도록 연결되는 니플 부재와, 상기 중앙 컨덕터의 일측에 직교되는 방향으로 일체로 연장 형성되고, 마이크로웨이브 제너레이터의 마이크로웨이브를 상기 중앙 컨덕터로 전달하도록 구비되는 마이크로웨이브 전달 부재, 및 상기 장치 하우징의 타단부에 구비되되 마이크로웨이브 반사를 최소화하고 마이크로웨이브 소스에 대한 공동 임피던스를 매칭시키기 위하여 상기 장치 하우징의 공동에서 상기 중앙 컨덕터의 노출 길이가 조절되도록 하는 임피던스매칭 조절부재를 포함하고,상기 복수의 콜드 플라즈마 발생장치는 상기 처리 챔버의 센터를 향하여 서로 대향하여 배열 배치되며,상기 점화 유닛은 상기 콜드 플라즈마 발생장치 각각이 수용 장착되는 크레들(cradle)이 형성된 접지 박스와, 상기 콜드 플라즈마 발생장치를 탄성 지지하면서 상기 접지 박스에 접지시키는 판 스프링과, 상기 접지 박스의 일측에 구비되어 누름 조작되는 누름 조작 스위치와, 상기 누름 조작 스위치에 구비되어 그 누름 조작 스위치에 의해 연장되는 샤프트를 포함하여 구성되는 릴레이와, 상기 릴레이의 샤프트에 의해 회동하여 일단부가 상기 콜드 플라즈마 발생장치의 팁부로 이동하며 타단부가 상기 파워서플라이의 출력 측에 연결되도록 구성되는 작동 레버, 및 상기 작동 레버를 원위치로 탄성 복원시키도록 구성되는 텐션 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는다중 콜드 플라즈마 어레이 장치.