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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0019360 (2020-02-18) | |
공개번호 | 10-2020-0106830 (2020-09-15) | |
등록번호 | 10-2183286-0000 (2020-11-20) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2019-039826 (2019-03-05) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200019360 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-02-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
(과제) 가스 도입로 내에 다공질부를 설치한 구조이어도 흡착 대상물에 대하여 웨이퍼 온도 균일성이 높은 온도 제어를 행할 수 있는 정전척을 제공한다.(해결 수단) 제 1 주면과 제 2 주면과 관통공을 갖는 세라믹 유전체 기판과, 세라믹 유전체 기판을 지지하고, 관통공과 연통하는 가스 도입로를 갖는 베이스 플레이트와, 가스 도입로에 설치된 다공질부를 구비하고, 다공질부는 복수의 구멍을 갖는 복수의 성긴 부분과, 성긴 부분의 밀도보다 높은 밀도를 갖는 조밀한 부분을 갖고, 복수의 성긴 부분의 각각은 베이스 플레이트로부터 세라믹 유전체
흡착 대상물을 적재하는 제 1 주면과, 상기 제 1 주면과는 반대측의 제 2 주면과, 상기 제 2 주면으로부터 상기 제 1 주면에 걸쳐서 형성된 관통공을 갖는 세라믹 유전체 기판과,상기 세라믹 유전체 기판을 지지하고, 상기 관통공과 연통하는 가스 도입로를 갖는 금속제의 베이스 플레이트와,상기 가스 도입로에 설치된 다공질부를 구비하고,상기 다공질부는 복수의 구멍을 갖는 복수의 성긴 부분과, 상기 성긴 부분의 밀도보다 높은 밀도를 갖는 조밀한 부분을 갖고,상기 복수의 성긴 부분의 각각은 상기 베이스 플레이트로부터 상기 세라믹 유전체 기
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