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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7024617 (2020-08-26) | |
공개번호 | 10-2020-0110796 (2020-09-25) | |
등록번호 | 10-2423380-0000 (2022-07-18) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-171405 (2018-09-13) | |
국제출원번호 | PCT/JP2019/035436 (2019-09-10) | |
국제공개번호 | WO 2020/054682 (2020-03-19) | |
번역문제출일자 | 2020-08-26 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207024617 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-08-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
웨이퍼 배치 장치(10)는, 웨이퍼용 정전척(14)과 웨이퍼용 냉각판(16)을 구비한 웨이퍼 배치대(12)와, 포커스링용 정전척(22)과 포커스링용 냉각판(24)을 구비한 포커스링 배치대(20)와, 포커스링 배치대(20)의 외주에 배치된 클램프 부재(30)를 구비하고 있다. 웨이퍼 배치대(12)와 포커스링 배치대(20)와 클램프 부재(30)는 각각 별체이다. 포커스링용 냉각판(24)의 압박부(24b)는, 웨이퍼용 냉각판 플랜지부(16a)를 설치판(82)을 향해 압박한다. 클램프 부재(30)는, 플랜지부(24a)를 설치판(82)을 향
웨이퍼용 정전척과 상기 웨이퍼용 정전척의 웨이퍼 배치면과는 반대측의 면에 부착된 웨이퍼용 냉각판을 구비한 웨이퍼 배치대와, 상기 웨이퍼 배치대와는 별체이며, 상기 웨이퍼 배치대의 외주에 배치되고, 포커스링용 정전척과 상기 포커스링용 정전척의 포커스링 배치면과는 반대측의 면에 부착된 포커스링용 냉각판을 구비한 포커스링 배치대와, 상기 포커스링 배치대와는 별체이며, 상기 포커스링 배치대의 외주에 배치된 클램프 부재를 구비한 웨이퍼 배치 장치로서, 상기 웨이퍼용 냉각판은, 상기 웨이퍼 배치 장치가 설치되는 설치판에 가까운 쪽의 단부의 외
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