$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

정전척 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/683
  • B23Q-003/15
  • H01L-021/687
  • H02N-013/00
출원번호 10-2020-0019360 (2020-02-18)
공개번호 10-2020-0106830 (2020-09-15)
등록번호 10-2183286-0000 (2020-11-20)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2019-039826 (2019-03-05)
DOI http://doi.org/10.8080/1020200019360
발명자 / 주소
  • 이토야마 테츠로 / 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메 *반 *고 토토 가부시키가이샤 나이
  • 우에후지 줌페이 / 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메 *반 *고 토토 가부시키가이샤 나이
출원인 / 주소
  • 토토 가부시키가이샤 / 일본 후쿠오카켄 기타큐슈시 고쿠라키타쿠 나카시마 *초메*반 *고
대리인 / 주소
  • 하영욱
심사청구여부 있음 (2020-02-18)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록 ▼

(과제) 가스 도입로 내에 다공질부를 설치한 구조이어도 흡착 대상물에 대하여 웨이퍼 온도 균일성이 높은 온도 제어를 행할 수 있는 정전척을 제공한다.(해결 수단) 제 1 주면과 제 2 주면과 관통공을 갖는 세라믹 유전체 기판과, 세라믹 유전체 기판을 지지하고, 관통공과 연통하는 가스 도입로를 갖는 베이스 플레이트와, 가스 도입로에 설치된 다공질부를 구비하고, 다공질부는 복수의 구멍을 갖는 복수의 성긴 부분과, 성긴 부분의 밀도보다 높은 밀도를 갖는 조밀한 부분을 갖고, 복수의 성긴 부분의 각각은 베이스 플레이트로부터 세라믹 유전체

대표청구항 ▼

흡착 대상물을 적재하는 제 1 주면과, 상기 제 1 주면과는 반대측의 제 2 주면과, 상기 제 2 주면으로부터 상기 제 1 주면에 걸쳐서 형성된 관통공을 갖는 세라믹 유전체 기판과,상기 세라믹 유전체 기판을 지지하고, 상기 관통공과 연통하는 가스 도입로를 갖는 금속제의 베이스 플레이트와,상기 가스 도입로에 설치된 다공질부를 구비하고,상기 다공질부는 복수의 구멍을 갖는 복수의 성긴 부분과, 상기 성긴 부분의 밀도보다 높은 밀도를 갖는 조밀한 부분을 갖고,상기 복수의 성긴 부분의 각각은 상기 베이스 플레이트로부터 상기 세라믹 유전체 기

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로