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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0019715 (2020-02-18) | |
공개번호 | 10-2021-0105139 (2021-08-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200019715 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 가스 공급장치는 바디의 열팽창계수 보다 낮은 열팽창계수를 갖는 구속 부재를 제1영역을 감싸며 형성되는 홈 내부에 구비함으로써 바디의 열변형을 허용하지 않는 가스 공급장치를 제공할 수 있다.
관통홀이 구비된 제1영역과, 상기 제1영역의 외측에서 상기 제1영역을 감싸는 형태로 홈이 구비된 제2영역을 포함하는 바디; 및상기 홈에 구비되고 상기 바디의 열팽창계수 보다 작은 열팽창계수를 가지면서 상기 바디의 열변형을 허용하지 않도록 하는 구속 부재;를 포함하는 가스 공급장치.
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