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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0026639 (2020-03-03) | |
공개번호 | 10-2021-0111931 (2021-09-14) | |
등록번호 | 10-2318995-0000 (2021-10-25) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200026639 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-03-03) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 트렌치 커패시터에 관한 것으로서, 복수 개의 단위 트렌치(Trench)가 형성된 반도체 기판으로서, 단위 트렌치는 직선 형태의 트렌치가 미리 정의된 각도에 따라 방향이 변화되며 연장되는 구조로 형성되는 것이고, 복수 개의 단위 트렌치 중 인접한 두 개의 단위 트렌치는 반도체 기판 상에서 미리 정의된 이격 거리만큼 이격되어 상호 대칭되는 구조로 형성되는 것인, 반도체 기판; 각 단위 트렌치에 증착되는 유전체층; 및 유전체층에 의해 반도체 기판과 분리되는 구조로 각 단위 트렌치에 증착되는 도전성 전극층;을 포함하고, 반도체
복수 개의 단위 트렌치(Trench)가 형성된 반도체 기판으로서, 상기 단위 트렌치는 직선 형태의 트렌치가 미리 정의된 각도에 따라 방향이 변화되며 연장되는 구조로 형성되는 것이고, 상기 복수 개의 단위 트렌치 중 인접한 두 개의 단위 트렌치는 상기 반도체 기판 상에서 미리 정의된 이격 거리만큼 이격되어 상호 대칭되는 구조로 형성되는 것인, 반도체 기판;상기 각 단위 트렌치에 증착되는 유전체층; 및상기 유전체층에 의해 상기 반도체 기판과 분리되는 구조로 상기 각 단위 트렌치에 증착되는 도전성 전극층;을 포함하고,상기 반도체 기판 및
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