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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0028372 (2020-03-06) | |
등록번호 | 10-2259919-0000 (2021-06-01) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200028372 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-03-06) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
챔버의 내면에 형성되는 코팅재의 제조 방법을 제공한다.코팅재의 제조 방법은 i) SiC, SiO2 및 Al2O3로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 모재를 제공하는 단계, ii) 모재 위에 SiOx (0.1≤x≤2) 또는 AlOy (0.1≤y≤1.5)를 포함하는 제1 코팅층부를 제공하는 단계, iii) 제1 코팅층부 위에 YOz (0.1≤z≤1.5)를 포함하는 제2 코팅층부를 제공하는 단계, iv) 제1 코팅층부와 제2 코팅층부를 반복하여 적층한 적층체를 제공하는 단계, 및 v) 적층체를 열처리하여 제1 코팅층부와
챔버 내벽의 부식에 따른 이물질 낙하로 인한 소자의 오염 방지용으로 상기 챔버 내벽에 형성되는 코팅재의 제조 방법으로서,SiO2 및 Al2O3로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 모재를 제공하는 단계,상기 모재 위에 AlOy (0.1≤y≤1)를 포함하는 제1 코팅층부를 제공하는 단계,상기 제1 코팅층부 위에 YOz (0.1≤z≤1)를 포함하는 제2 코팅층부를 제공하는 단계,상기 제1 코팅층부와 상기 제2 코팅층부를 반복하여 적층한 적층체를 제공하는 단계, 및상기 적층체를 열처리하여 상기 제1 코팅층부와 상기 제2
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