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보고서 상세정보

고밀도 플라즈마를 이용한 10nm급 반도체 및 10세대 디스플레이용 식각장비 기술개발

과제명 고밀도 플라즈마를 이용한 10nm급 반도체 및 10세대 디스플레이용 식각장비 기술개발
주관연구기관 한국반도체연구조합
Consortium of Semiconductor Advanced Research
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2016-07
과제시작년도 2015
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201800039534
과제고유번호 1711026045
사업명 전자정보디바이스산업원천기술개발
DB 구축일자 2018-11-03
키워드 반도체장비.플라즈마.식각.반도체.디스플레이.건식식각.플라즈마 진단.
초록

□ 핵심기술
o 1세부
- 차세대 반도체 및 디스플레이 공정에 사용될 수 있는 진단, 공정 ,소스, 시뮬레이션 기술

o 2세부
- 균일한 고밀도 플라즈마 생성을 위한 플라즈마 소스 기술과 Etch Rate...

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