초록 ▼

챔버의 내면에 형성되는 코팅재의 제조 방법을 제공한다.코팅재의 제조 방법은 i) SiC, SiO2 및 Al2O3로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 모재를 제공하는 단계, ii) 모재 위에 SiOx (0.1≤x≤2) 또는 AlOy (0.1≤y≤1.5)를 포함하는 제1 코팅층부를 제공하는 단계, iii) 제1 코팅층부 위에 YOz (0.1≤z≤1.5)를 포함하는 제2 코팅층부를 제공하는 단계, iv) 제1 코팅층부와 제2 코팅층부를 반복하여 적층한 적층체를 제공하는 단계, 및 v) 적층체를 열처리하여 제1 코팅층부와

챔버의 내면에 형성되는 코팅재의 제조 방법을 제공한다.코팅재의 제조 방법은 i) SiC, SiO2 및 Al2O3로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 모재를 제공하는 단계, ii) 모재 위에 SiOx (0.1≤x≤2) 또는 AlOy (0.1≤y≤1.5)를 포함하는 제1 코팅층부를 제공하는 단계, iii) 제1 코팅층부 위에 YOz (0.1≤z≤1.5)를 포함하는 제2 코팅층부를 제공하는 단계, iv) 제1 코팅층부와 제2 코팅층부를 반복하여 적층한 적층체를 제공하는 단계, 및 v) 적층체를 열처리하여 제1 코팅층부와 제2 코팅층부 상호간의 고상 반응에 의해 결정질의 단일층으로 된 코팅층을 제공하는 단계를 포함한다.

대표청구항 ▼

챔버 내벽의 부식에 따른 이물질 낙하로 인한 소자의 오염 방지용으로 상기 챔버 내벽에 형성되는 코팅재의 제조 방법으로서,SiO2 및 Al2O3로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 모재를 제공하는 단계,상기 모재 위에 AlOy (0.1≤y≤1)를 포함하는 제1 코팅층부를 제공하는 단계,상기 제1 코팅층부 위에 YOz (0.1≤z≤1)를 포함하는 제2 코팅층부를 제공하는 단계,상기 제1 코팅층부와 상기 제2 코팅층부를 반복하여 적층한 적층체를 제공하는 단계, 및상기 적층체를 열처리하여 상기 제1 코팅층부와 상기 제2

챔버 내벽의 부식에 따른 이물질 낙하로 인한 소자의 오염 방지용으로 상기 챔버 내벽에 형성되는 코팅재의 제조 방법으로서,SiO2 및 Al2O3로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 모재를 제공하는 단계,상기 모재 위에 AlOy (0.1≤y≤1)를 포함하는 제1 코팅층부를 제공하는 단계,상기 제1 코팅층부 위에 YOz (0.1≤z≤1)를 포함하는 제2 코팅층부를 제공하는 단계,상기 제1 코팅층부와 상기 제2 코팅층부를 반복하여 적층한 적층체를 제공하는 단계, 및상기 적층체를 열처리하여 상기 제1 코팅층부와 상기 제2 코팅층부 상호간의 고상 반응에 의해 결정질의 단일층으로 된 코팅층을 제공하는 단계를 포함하는 코팅재의 제조 방법.