초록

본 발명의 목적은 기판 등의 대상물체의 정전기를 모니터링 하되, 각각의 대상물체 별로 정전기량을 모니터링하고 그 분포를 알 수 있도록 한 정전기 모니터링 시스템을 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 본 발명은 정전기 측정 대상물체를 감지할 수 있는 대상물체 감지센서와 정전기 모니터링 프로우브를 함께 설치하고, 프로우브에서 측정한 정전기 데이터를 3차원 등고선 맵으로 표시하여 개별 측정 대상물체에 대한 정전기 분포 맵을 보여줄 수 있는 정전기 모니터링 시스템을 제공한다.

대표청구항 ▼

대상물체 자체를 감지할 수 있는 대상물체감지 센서;상기 대상물체로부터 정전기를 측정하는 프로우브; 및상기 대상물체감지 센서가 대상물체의 존재를 감지하여 그에 대한 신호를 전송하면 신호를 수신하고, 상기 프로우브의 동작을 제어하는 서버;를 포함하고,상기 대상물체 감지센서는 대상물체의 등장과 퇴장에 대해 서버에 신호를 전송하고,상기 서버는 대상물체의 등장 시부터 퇴장시까지 프로우브가 측정한 대상물체의 정전기 데이터를 수집하여 저장하되, 개개의 대상물체 마다 식별번호를 부여하여 데이터 시트를 작성하고 작성된 데이터 시트로부터 대상물체 각

대상물체 자체를 감지할 수 있는 대상물체감지 센서;상기 대상물체로부터 정전기를 측정하는 프로우브; 및상기 대상물체감지 센서가 대상물체의 존재를 감지하여 그에 대한 신호를 전송하면 신호를 수신하고, 상기 프로우브의 동작을 제어하는 서버;를 포함하고,상기 대상물체 감지센서는 대상물체의 등장과 퇴장에 대해 서버에 신호를 전송하고,상기 서버는 대상물체의 등장 시부터 퇴장시까지 프로우브가 측정한 대상물체의 정전기 데이터를 수집하여 저장하되, 개개의 대상물체 마다 식별번호를 부여하여 데이터 시트를 작성하고 작성된 데이터 시트로부터 대상물체 각각에 대해 3차원 등고선으로 정전기 분포를 시각화하며,상기 프로우브는 소정 간격으로 다수가 배열되어, 프로우브들이 배열된 방향을 x축, 그와 직교하는 동일평면상의 방향을 y축, 정전기 양에 대한 표시 축을 z축으로 하여 개별 대상물체마다 정전기 분포를 3차원 등고선으로 표시하고,정전기 제거 또는 정전기 활용 대응전략 설계를 위해, 상기 데이터 시트는 대상물체 별로 작성되고, 식별번호가 부여된 프로우브별로도 정리되어, 데이터를 관리하는 것을 특징으로 하는 정전기 모니터링 시스템.