초록 ▼

[과제] 가장 외측에 위치하는 증발구부의 개구 단면이 증발원의 긴 길이 방향 외측을 향하도록 경사진 구성에서도, 성막 재료의 증발원으로의 반사 또는 재증발 및 증발원 주변 부재로의 퇴적을 방지할 수 있는 증착 장치 및 증발원의 제공.[해결 수단] 성막 재료가 수용되는 용기(1)와, 용기(1)의 긴 길이 방향을 따라 설치되는 복수의 증발구부(2a, 2b)와, 용기(1)의 주위에 설치되는 증발원 주변 부재(3)를 포함하는 증발원을 구비한 증착 장치로서, 복수의 증발구부(2a,2b) 중 가장 외측에 설치된 한 쌍의 외측 증발구부(2a)는

[과제] 가장 외측에 위치하는 증발구부의 개구 단면이 증발원의 긴 길이 방향 외측을 향하도록 경사진 구성에서도, 성막 재료의 증발원으로의 반사 또는 재증발 및 증발원 주변 부재로의 퇴적을 방지할 수 있는 증착 장치 및 증발원의 제공.[해결 수단] 성막 재료가 수용되는 용기(1)와, 용기(1)의 긴 길이 방향을 따라 설치되는 복수의 증발구부(2a, 2b)와, 용기(1)의 주위에 설치되는 증발원 주변 부재(3)를 포함하는 증발원을 구비한 증착 장치로서, 복수의 증발구부(2a,2b) 중 가장 외측에 설치된 한 쌍의 외측 증발구부(2a)는 각각 용기(1)의 긴 길이 방향 외측을 향하도록 경사지는 개구 단면을 갖고, 용기(1) 및 증발원 주변 부재(3)가 상기 개구 단면을 포함하는 가상 평면보다 외측으로 돌출하지 않고 상기 가상 평면의 내측에 들어가도록 구성한다.

대표청구항 ▼

성막 재료가 수용되는 용기와,상기 용기의 긴 길이 방향을 따라 배열되고, 각각이 상기 용기로부터 돌출되는 복수의 통형상부를 포함하는 증발원으로서,상기 복수의 통형상부 중 제1 통형상부와 제2 통형상부는, 선단이 상기 긴 길이방향에 있어서 동일한 방향을 향하도록 경사지고,상기 제1 통형상부의 경사 각도와 상기 제2 통형상부의 경사 각도가 상이하며, 상기 용기는, 재료 수용부와, 확산부와, 상기 재료 수용부와 상기 확산부를 연통시키는 개구가 형성되고, 상기 재료 수용부와 상기 확산부를 부분적으로 구획하는 연통부를 갖는 것을 특징으로 하

성막 재료가 수용되는 용기와,상기 용기의 긴 길이 방향을 따라 배열되고, 각각이 상기 용기로부터 돌출되는 복수의 통형상부를 포함하는 증발원으로서,상기 복수의 통형상부 중 제1 통형상부와 제2 통형상부는, 선단이 상기 긴 길이방향에 있어서 동일한 방향을 향하도록 경사지고,상기 제1 통형상부의 경사 각도와 상기 제2 통형상부의 경사 각도가 상이하며, 상기 용기는, 재료 수용부와, 확산부와, 상기 재료 수용부와 상기 확산부를 연통시키는 개구가 형성되고, 상기 재료 수용부와 상기 확산부를 부분적으로 구획하는 연통부를 갖는 것을 특징으로 하는 증발원.