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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0042075 (2020-04-07) | |
공개번호 | 10-2021-0125141 (2021-10-18) | |
등록번호 | 10-2520603-0000 (2023-04-06) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200042075 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-06-07) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 쿼츠 부품을 재생하는 방법을 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 표면에 실리콘 및 질소를 포함하는 물질층과 쿼츠가 복합적으로 노출된 피 처리 쿼츠 부품을 재생하는 방법에 있어서, 상온 이상의 제1 온도로 가열한 불산 수용액에 상기 피 처리 쿼츠 부품을 노출시켜 재생한다.
표면에 실리콘 및 질소를 포함하는 물질층과 쿼츠가 복합적으로 노출된 피 처리 쿼츠 부품을 재생하는 방법에 있어서,상온 이상의 제1 온도로 가열한 불산 수용액이 수용된 처리조에 상기 피 처리 쿼츠 부품을 침지시켜 재생하는 쿼츠 부품 재생 방법.
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