초록

본 발명에 따른 MEMS 압저항 압력센서는 SOI기판을 사용하여 스토퍼로 둘러싸인 진공챔버 또는 챔버를 형성함으로써, 멤브레인의 두께가 균일하고 전기적 기계적 특성이 우수하며, 압저항이 정확한 위치에 형성되는 장점이 있다.결국, 특성과 신뢰성이 우수하고, 균일성이 우수하며, 경박단소하고 가격이 저렴한 MEMS 압저항 압력센서를 제공하게 된다.

대표청구항 ▼

실리콘기판(100) 상에 형성되며, 평면적으로 스토퍼(400)가 둘러싸고 있는 진공챔버(300); 상기 진공챔버(300)의 상부에 위치하며, 단결정 실리콘으로 이루어진 멤브레인(200); 평면적으로 상기 스토퍼(400)의 바깥영역에 위치하며, 두께 및 수직적 위치가 상기 진공챔버(300)의 높이 및 수직적 위치와 동일하거나 각각 ±1㎛ 차이 이내인 실리콘기판(100) 상의 매몰산화막(110);상기 매몰산화막(110)의 상부에 위치하며, 두께 및 수직적 위치가 상기 멤브레인(200)의 두께 및 수직적 위치와 동일하거나 각각 ±1㎛ 차

실리콘기판(100) 상에 형성되며, 평면적으로 스토퍼(400)가 둘러싸고 있는 진공챔버(300); 상기 진공챔버(300)의 상부에 위치하며, 단결정 실리콘으로 이루어진 멤브레인(200); 평면적으로 상기 스토퍼(400)의 바깥영역에 위치하며, 두께 및 수직적 위치가 상기 진공챔버(300)의 높이 및 수직적 위치와 동일하거나 각각 ±1㎛ 차이 이내인 실리콘기판(100) 상의 매몰산화막(110);상기 매몰산화막(110)의 상부에 위치하며, 두께 및 수직적 위치가 상기 멤브레인(200)의 두께 및 수직적 위치와 동일하거나 각각 ±1㎛ 차이 이내인 단결정 실리콘 후막(730); 및 상기 멤브레인(200)의 엣지 부분에 형성되어 응력변화에 따라 저항값이 변화되는 압저항(500);을 포함하며,상기 스토퍼(400)는 하부가 실리콘기판(100)의 상부에 매립되고, 상부가 멤브레인(200)과 매몰산화막(110) 상의 단결정 실리콘 후막(730) 사이에 매립되어 있는 것을 특징으로 하는 MEMS 압저항 압력센서.