[특허]MEMS 디바이스의 기계적 견고성을 강화하기 위한 복합 스프링 구조물

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	B81B-003/00 B81B-005/00
출원번호	10-2020-0081877 (2020-07-03)
공개번호	10-2021-0119254 (2021-10-05)
등록번호	10-2386555-0000 (2022-04-11)
우선권정보	미국(US) 16/826,550 (2020-03-23)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020200081877
발명자 / 주소	창 쿠에이-숭 / 중화민국, 타이완, 신추, 신추 사이언스 파크, 리-신 로드 , 넘버 마오 웨이-지 / 중화민국, 타이완, 신추, 신추 사이언스 파크, 리-신 로드 , 넘버 차이 샹-잉 / 중화민국, 타이완, 신추, 신추 사이언스 파크, 리-신 로드 , 넘버
출원인 / 주소	타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 / 중화민국, 타이완, 신추, 신추 사이언스 파크, 리-신 로드 , 넘버
대리인 / 주소	김태홍; 김진회
심사청구여부	있음 (2020-07-03)
심사진행상태	등록결정(재심사후)
법적상태	등록

초록 ▼

본 개시의 다양한 실시예들은 복합 스프링을 포함하는 마이크로 전자 기계 시스템(microelectromechanical systems; MEMS) 구조물에 관한 것이다. 제 1 기판은 제 2 기판 아래에 있다. 제 3 기판은 제 2 기판 위에 놓인다. 제 1 기판, 제 2 기판 및 제 3 기판은 공동을 적어도 부분적으로 규정한다. 제 2 기판은 공동 내에 그리고 제 1 기판과 제 3 기판 사이에 이동 가능한 질량체를 포함한다. 복합 스프링은 제 2 기판의 주변 영역으로부터 이동 가능한 질량체까지 연장된다. 복합 스프링은 공동 내에서

대표청구항 ▼

마이크로 전자 기계 시스템(microelectromechanical systems; MEMS) 구조물에 있어서,제 1 기판; 상기 제 1 기판 위에 놓인 제 2 기판;상기 제 2 기판 위에 놓인 제 3 기판 - 상기 제 1 기판과 상기 제 3 기판 사이에 배치되는 공동(cavity)이 상기 제 1 기판, 상기 제 2 기판 및 상기 제 3 기판에 의해 적어도 부분적으로 둘러싸이고, 상기 제 2 기판은 상기 공동 내에 이동 가능한 질량체를 포함함 - ; 및 상기 제 2 기판의 주변 영역으로부터 상기 이동 가능한 질량체까지 연장되는 복합 스프링 - 상기 복합 스프링은 상기 공동 내에서 상기 이동 가능한 질량체를 부유시키도록(suspend) 구성되고, 상기 복합 스프링은 제 1 결정 배향을 포함하는 제 1 스프링 층 및 상기 제 1 결정 배향과 상이한 제 2 결정 배향을 포함하는 제 2 스프링 층을 포함하며, 상기 제 1 스프링 층은 상기 제 2 스프링 층의 적어도 일 측부에 배치되고, 상기 제 1 스프링 층의 상면은 상기 제 2 스프링 층의 상면과 동일 높이임 - 을 포함하는 마이크로 전자 기계 시스템(MEMS) 구조물.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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