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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0076597 (2020-06-23) | |
공개번호 | 10-2021-0158165 (2021-12-30) | |
등록번호 | 10-2458878-0000 (2022-10-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200076597 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-06-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치는 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기, 그리고 상기 레이저 빔의 광경로 상에 위치하며 상기 레이저 빔을 복수개의 스캔 라인으로 분리시켜 대상물의 소정 위치에 조사되도록 제어하는 폴리곤 스캐너를 포함하고, 상기 폴리곤 스캐너는 상기 레이저 빔을 반사시키는 복수개의 반사면을 가지는 폴리곤 미러, 그리고 상기 폴리곤 미러의 중앙부에 위치하며 상기 폴리곤 미러를 회전시키는 회전축을 포함하고, 상기 폴리곤 미러는 복수개의 방열 홀을 가진다.
레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기, 그리고상기 레이저 빔의 광경로 상에 위치하며 상기 레이저 빔을 복수개의 스캔 라인으로 분리시켜 대상물의 소정 위치에 조사되도록 제어하는 폴리곤 스캐너를 포함하고,상기 폴리곤 스캐너는 스캐너 본체,상기 스캐너 본체 내부에 설치되며 상기 레이저 빔을 반사시키는 복수개의 반사면을 가지는 폴리곤 미러,상기 폴리곤 미러와 이격되어 상기 스캐너 본체 내부에 설치되어 상기 폴리곤 미러에서 발생하는 열을 방출하는 방열 팬,상기 폴리곤 미러의 중앙부에 위치하며 상기 폴리곤 미러를 회전시키는 회전축, 그리고상기
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