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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0081877 (2020-07-03) | |
공개번호 | 10-2021-0119254 (2021-10-05) | |
등록번호 | 10-2386555-0000 (2022-04-11) | |
우선권정보 | 미국(US) 16/826,550 (2020-03-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200081877 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-07-03) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 개시의 다양한 실시예들은 복합 스프링을 포함하는 마이크로 전자 기계 시스템(microelectromechanical systems; MEMS) 구조물에 관한 것이다. 제 1 기판은 제 2 기판 아래에 있다. 제 3 기판은 제 2 기판 위에 놓인다. 제 1 기판, 제 2 기판 및 제 3 기판은 공동을 적어도 부분적으로 규정한다. 제 2 기판은 공동 내에 그리고 제 1 기판과 제 3 기판 사이에 이동 가능한 질량체를 포함한다. 복합 스프링은 제 2 기판의 주변 영역으로부터 이동 가능한 질량체까지 연장된다. 복합 스프링은 공동 내에서
마이크로 전자 기계 시스템(microelectromechanical systems; MEMS) 구조물에 있어서,제 1 기판; 상기 제 1 기판 위에 놓인 제 2 기판;상기 제 2 기판 위에 놓인 제 3 기판 - 상기 제 1 기판과 상기 제 3 기판 사이에 배치되는 공동(cavity)이 상기 제 1 기판, 상기 제 2 기판 및 상기 제 3 기판에 의해 적어도 부분적으로 둘러싸이고, 상기 제 2 기판은 상기 공동 내에 이동 가능한 질량체를 포함함 - ; 및 상기 제 2 기판의 주변 영역으로부터 상기 이동 가능한 질량체까지 연장되는 복합
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