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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0084709 (2020-07-09) | |
공개번호 | 10-2022-0006823 (2022-01-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200084709 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-05-25) | |
심사진행상태 | 거절결정 후 재심사중 | |
법적상태 | 공개 |
선형 증발원은 증착 물질이 수용되는 공간이 형성된 도가니와, 공간을 덮도록 도가니의 상부에 배치된 도가니 캡와, 도가니 캡에 제공된 수직노즐과, 도가니 캡에 수직노즐과 이격되게 형성된 제1사이드노즐과, 도가니 캡에수직노즐과 제1사이드노즐 각각과 이격되게 제공된 제2사이드노즐과, 도가니 내부에 배치되고 통공이 형성된 이너 플레이트를 포함하고, 제2사이드노즐은 수직노즐과 제1사이드노즐 사이에 위치되고, 제2사이드노즐의 분사각도는 수직노즐의 분사각도와 제1사이드노즐의 분사각도의 사이일 수 있다.
증착 물질이 수용되는 공간이 형성된 도가니;상기 공간을 덮도록 도가니의 상부에 배치된 도가니 캡;상기 도가니 캡에 제공된 수직노즐;상기 도가니 캡에 상기 수직노즐과 이격되게 형성된 제1사이드노즐;상기 도가니 캡에 상기 수직노즐과 제1사이드노즐 각각과 이격되게 제공된 제2사이드노즐;상기 도가니 내부에 배치되고 통공이 형성된 이너 플레이트;을 포함하고,상기 제2사이드노즐은 상기 수직노즐과 상기 제1사이드노즐 사이에 위치되고,상기 수직노즐의 분사각도와 제1사이드노즐의 분사각도의 사이의 분사각도를 갖는 선형 증발원.
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