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핵심기술
OLED용 유기물/무기물 선형 증발 증착 기술
-유도가열기술을 적용한 미세제어 가열기술
-무기물용 고온 선형 증발 증착 기술(세계최초)

사업화 배경
◦ OLED 디스플레이 산업이 커지면서 대면적 증발 증착기술이 요구되어 왔으며 특히, 무기물(메탈) 증착원의 선형화필요성과 중요성이 점점커지고 있음.

◦ OLED 유기물 상향식 증착공정에서 원료의 저효율, 저증 착속도, 원료의 변성등의 문제점들이 있으며 이를 극복할 수 기술의 요구가 점점 커지고 있으며 이러한 고효율, 고증착율 및

핵심기술
OLED용 유기물/무기물 선형 증발 증착 기술
-유도가열기술을 적용한 미세제어 가열기술
-무기물용 고온 선형 증발 증착 기술(세계최초)

사업화 배경
◦ OLED 디스플레이 산업이 커지면서 대면적 증발 증착기술이 요구되어 왔으며 특히, 무기물(메탈) 증착원의 선형화필요성과 중요성이 점점커지고 있음.

◦ OLED 유기물 상향식 증착공정에서 원료의 저효율, 저증 착속도, 원료의 변성등의 문제점들이 있으며 이를 극복할 수 기술의 요구가 점점 커지고 있으며 이러한 고효율, 고증착율 및 고직진성을 구현할 수 있는 원천기술 확보하고 있으며 이를 제품화 할 계획임.

최종목표
◦ 타사제품에 비하여 고효율, 고증착율의 유기물 상향식 선형 증발증착원 제품을 개발하여 유기물 증착원시장의 50% 이상 선점을 목표로 함.

◦ 무기물 상향식 증착원 시장에선 아직 포인트 타입의 증착원 제품밖에 없는데, 선형 무기물 상향식 증착원 제품을 개발하여 무기물 상향식 증착원 시장의 60%을 선점하는 것을 목표로 함.

사업화 내용 및 결과
현재 양산라인에서 주로 6GH 사이즈의 기판 공정이 진행되고 있어 1차 년도에 6GH용 선형 증발증착원을 개발했으며 이를 확장하여 당해년도엔 8세대를 증착 할 수 있는 선형 증발 증착원을 개발함. 특히 유도가열방법으로 고온에서 증발되는 메탈 선형 증발 증착원을 세계최초로 시제품을 만드는데 성공함.

핵심개발 기술의 의의
메탈 선형 증발 증착 기술은 신규로 개발된 기술로 현재까지 사용하던 점형증발원을 대체할 수 있으며 개발난이도가 높기 때문에 진입장벽이 높고 기술수출 및 제품수출 가능함.

적용 분야
주로 OLED 패널제조공정에 사용되는 증발증착원에 초점을 맞추어 개발을 했으므로 OLED 분야에 바로 적용가능하며 금속 박막 증착 등이 필요한 분야에 적용 가능함.

(출처 : 최종보고서 초록 6p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 2015년 기술이전사업화사업(연구소기업 R&BD) 최종보고서 초록 ... 3
• 2015년 기술이전사업화사업(연구소기업 R&BD) 주요 성과 ... 10
• 목차 ... 15
• 제 1장 과제의 개요 ... 16
• 제 1절 기술의 개요 ... 16
• 제 2절 국내·외 관련 기술의 현황 ... 17
• 제 3절 기술개발 시 예상되는 기술적·경제적 파급 효과 ... 23
• 제 2장 과제 수행의 내용 및 결과 ... 25
• 제 1절 최종 목표 및 평가방법 ... 25
• 제 2절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 26
• 제 3절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리 현황 ... 49
• 제 3장 결과 및 사업화 계획 ... 50
• 제 1절 사업화 기술개발 최종 결과 ... 50
• 제 2절 사업화 추진 체계 ... 61
• 제 3절 시장 현황 및 사업화 전망 ... 61
• 제 4절 고용 창출 효과 ... 64
• 부 록 ... 65
• 끝페이지 ... 72