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연합인증

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선형 증발원 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23C-014/24
  • C23C-014/12
  • C23C-014/22
출원번호 10-2020-0084709 (2020-07-09)
공개번호 10-2022-0006823 (2022-01-18)
DOI http://doi.org/10.8080/1020200084709
발명자 / 주소
  • 문병준 / 서울특별시 서초구 양재대로**길 ** LG전자 특허센터
  • 송기철 / 서울특별시 서초구 양재대로**길 ** LG전자 특허센터
  • 최건훈 / 서울특별시 서초구 양재대로**길 ** LG전자 특허센터
  • 조영수 / 서울특별시 서초구 양재대로**길 ** LG전자 특허센터
출원인 / 주소
  • 엘지전자 주식회사 / 서울특별시 영등포구 여의대로 *** (여의도동)
대리인 / 주소
  • 허용록
심사청구여부 있음 (2021-05-25)
심사진행상태 거절결정 후 재심사중
법적상태 공개

초록

선형 증발원은 증착 물질이 수용되는 공간이 형성된 도가니와, 공간을 덮도록 도가니의 상부에 배치된 도가니 캡와, 도가니 캡에 제공된 수직노즐과, 도가니 캡에 수직노즐과 이격되게 형성된 제1사이드노즐과, 도가니 캡에수직노즐과 제1사이드노즐 각각과 이격되게 제공된 제2사이드노즐과, 도가니 내부에 배치되고 통공이 형성된 이너 플레이트를 포함하고, 제2사이드노즐은 수직노즐과 제1사이드노즐 사이에 위치되고, 제2사이드노즐의 분사각도는 수직노즐의 분사각도와 제1사이드노즐의 분사각도의 사이일 수 있다.

대표청구항

증착 물질이 수용되는 공간이 형성된 도가니;상기 공간을 덮도록 도가니의 상부에 배치된 도가니 캡;상기 도가니 캡에 제공된 수직노즐;상기 도가니 캡에 상기 수직노즐과 이격되게 형성된 제1사이드노즐;상기 도가니 캡에 상기 수직노즐과 제1사이드노즐 각각과 이격되게 제공된 제2사이드노즐;상기 도가니 내부에 배치되고 통공이 형성된 이너 플레이트;을 포함하고,상기 제2사이드노즐은 상기 수직노즐과 상기 제1사이드노즐 사이에 위치되고,상기 수직노즐의 분사각도와 제1사이드노즐의 분사각도의 사이의 분사각도를 갖는 선형 증발원.

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [일본] EVAPORATION SOURCE ASSEMBLY | HAYASHI SHINJI, CHOU HAO YU, HUANG CHUNYUN
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