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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0097958 (2020-08-05) | |
공개번호 | 10-2020-0096468 (2020-08-12) | |
등록번호 | 10-2370198-0000 (2022-02-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200097958 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-08-05) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 증착 장비용 가열 어셈블리에 관한 것으로, 본 발명의 일 양상에 따른 증착 장비용 가열 어셈블리는, 내부에 증착 물질을 수용하고 서로 분리되는 상부 바디 및 하부 바디를 포함하는 크루시블; 상기 크루시블을 가열하기 위하여 상기 크루시블의 외측에 배치되는 유도 가열 코일 - 상기 유도 가열 코일에 전원이 인가되면 코일 전류가 발생하고, 상기 코일 전류는 자기장을 발생시키고, 상기 자기장의 적어도 일부가 상기 크루시블에 유도 전류를 발생시키고, 상기 유도 전류에 의해 상기 크루시블의 온도가 상승함 - ; 및 상기 크루시블과
피증착면에 증착 물질을 증착시키기 위한 증착 장비용 가열 어셈블리에 있어서,노즐이 형성된 상부 바디 및 상기 상부 바디와 분리 가능한 하부 바디를 포함하는 크루시블 - 상기 상부 바디는 상기 하부 바디를 향하는 제1 면 및 상기 제1 면의 반대면인 제2 면을 포함하고, 상기 노즐은 상기 제2 면으로부터 돌출되어 있음 - ;상기 크루시블의 외측에 배치되는 격벽; 및상기 격벽의 외측에 배치되는 유도 가열 코일을 포함하고,상기 격벽은,상기 크루시블과 상기 유도 가열 코일의 사이에 상기 크루시블의 측면을 둘러싸도록 배치되는 제1 격벽, 및
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