초록 ▼

본 발명은 증착 장비용 가열 어셈블리에 관한 것으로, 본 발명의 일 양상에 따른 증착 장비용 가열 어셈블리는, 내부에 증착 물질을 수용하고 서로 분리되는 상부 바디 및 하부 바디를 포함하는 크루시블; 상기 크루시블을 가열하기 위하여 상기 크루시블의 외측에 배치되는 유도 가열 코일 - 상기 유도 가열 코일에 전원이 인가되면 코일 전류가 발생하고, 상기 코일 전류는 자기장을 발생시키고, 상기 자기장의 적어도 일부가 상기 크루시블에 유도 전류를 발생시키고, 상기 유도 전류에 의해 상기 크루시블의 온도가 상승함 - ; 및 상기 크루시블과

본 발명은 증착 장비용 가열 어셈블리에 관한 것으로, 본 발명의 일 양상에 따른 증착 장비용 가열 어셈블리는, 내부에 증착 물질을 수용하고 서로 분리되는 상부 바디 및 하부 바디를 포함하는 크루시블; 상기 크루시블을 가열하기 위하여 상기 크루시블의 외측에 배치되는 유도 가열 코일 - 상기 유도 가열 코일에 전원이 인가되면 코일 전류가 발생하고, 상기 코일 전류는 자기장을 발생시키고, 상기 자기장의 적어도 일부가 상기 크루시블에 유도 전류를 발생시키고, 상기 유도 전류에 의해 상기 크루시블의 온도가 상승함 - ; 및 상기 크루시블과 상기 유도 가열 코일의 사이에 배치되고 상기 크루시블의 적어도 일부를 둘러싸는 격벽;을 포함하되, 상기 격벽은 상기 유도 가열 코일로부터 상기 크루시블로 상기 자기장이 전달되는 것은 허용하되, 상기 크루시블로부터 방출된 상기 증착 물질이 상기 유도 가열 코일로 전달되는 것은 차단한다.

대표청구항 ▼

피증착면에 증착 물질을 증착시키기 위한 증착 장비용 가열 어셈블리에 있어서,노즐이 형성된 상부 바디 및 상기 상부 바디와 분리 가능한 하부 바디를 포함하는 크루시블 - 상기 상부 바디는 상기 하부 바디를 향하는 제1 면 및 상기 제1 면의 반대면인 제2 면을 포함하고, 상기 노즐은 상기 제2 면으로부터 돌출되어 있음 - ;상기 크루시블의 외측에 배치되는 격벽; 및상기 격벽의 외측에 배치되는 유도 가열 코일을 포함하고,상기 격벽은,상기 크루시블과 상기 유도 가열 코일의 사이에 상기 크루시블의 측면을 둘러싸도록 배치되는 제1 격벽, 및

피증착면에 증착 물질을 증착시키기 위한 증착 장비용 가열 어셈블리에 있어서,노즐이 형성된 상부 바디 및 상기 상부 바디와 분리 가능한 하부 바디를 포함하는 크루시블 - 상기 상부 바디는 상기 하부 바디를 향하는 제1 면 및 상기 제1 면의 반대면인 제2 면을 포함하고, 상기 노즐은 상기 제2 면으로부터 돌출되어 있음 - ;상기 크루시블의 외측에 배치되는 격벽; 및상기 격벽의 외측에 배치되는 유도 가열 코일을 포함하고,상기 격벽은,상기 크루시블과 상기 유도 가열 코일의 사이에 상기 크루시블의 측면을 둘러싸도록 배치되는 제1 격벽, 및상기 크루시블로부터 상기 유도 가열 코일을 향하는 방향으로 상기 제1 격벽의 상부 말단으로부터 연장되어 형성되는 제2 격벽을 포함하고,상기 제2 격벽은, 상기 유도 가열 코일을 마주하는 제3 면 및 상기 제3 면의 반대면인 제4 면을 가지고,상기 유도 가열 코일에 전원이 인가됨에 따라 발생하는 자기장에 의해 상기 크루시블의 온도가 상승하고 이에 따라 상기 증착 물질이 가열되어 상전이하고,상기 상전이된 증착 물질의 적어도 일부는 상기 상부 바디 및 상기 하부 바디 사이에 형성된 접촉면을 통해 유출되고,상기 격벽은, 상기 유출된 증착 물질이 상기 유도 가열 코일에 도달하기 전에 상기 유출된 증착 물질을 차단하는증착 장비용 가열 어셈블리.