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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0107708 (2020-08-26) | |
등록번호 | 10-2219255-0000 (2021-02-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200107708 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-08-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 실시예에 따른 정전척은, 베이스 바디; 제1 접착층에 의해, 상기 베이스 바디의 상면에 접합하는 히터 플레이트; 제2 접착층에 의해, 상기 히터 플레이트의 상면에 접합하고, 정전기력에 의해 웨이퍼를 흡착하는 흡착 플레이트; 상기 베이스 바디 및 히터 플레이트를 관통하여 상기 흡착 플레이트에 접촉하는 전극; 상기 전극의 일 말단이 노출되도록 상기 전극을 길이 방향으로 감싸는 제1 절연부재; 및 상기 노출된 일 말단을 감싸도록 상기 전극의 상기 길이 방향으로 연장되는 제1 바디 및 상기 제1 바디로부터 연장되고 상기 전극
베이스 바디;제1 접착층에 의해, 상기 베이스 바디의 상면에 접합하는 히터 플레이트;제2 접착층에 의해, 상기 히터 플레이트의 상면에 접합하고, 정전기력에 의해 웨이퍼를 흡착하는 흡착 플레이트;상기 베이스 바디 및 히터 플레이트를 관통하여 상기 흡착 플레이트에 접촉하는 전극;상기 전극의 일 말단이 노출되도록 상기 전극을 길이 방향으로 감싸는 제1 절연부재; 및 상기 노출된 일 말단을 감싸도록 상기 전극의 상기 길이 방향으로 연장되는 제1 바디 및 상기 제1 바디로부터 연장되고 상기 전극의 일 말단으로부터 반경 방향으로 연장되는 제2
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