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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0110730 (2020-09-01) | |
공개번호 | 10-2022-0028985 (2022-03-08) | |
등록번호 | 10-2635125-0000 (2024-02-05) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200110730 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-05-21) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 증착 억제제 및 이를 이용한 유전막 형성 방법에 관한 것으로, 구체적으로 기판에 대한 흡착력이 강한 증착 억제제과 유전막 형성용 전구체를 사용함으로써, 우수한 단차 피복성과 두께 균일성을 확보할 수 있는 유전막 형성 방법에 관한 것이다.
하기 화학식 I 내지 화학식 III로 표시되는 화합물들로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나 이상의 화합물을 포함하는 증착 억제제.[화학식 I]상기 화학식 I에서,X 및 Y는 각각 독립적으로 NR3R4 (R3 및 R4는 각각 독립적으로 수소 또는 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 6의 알킬기임) 또는 OR5 (R5는 수소 또는 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 6의 알킬기임)이고, 상기 X 및 Y는 동일하거나 상이할 수 있으며, R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소 또는 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 6의 알킬기이고,
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